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yangking91木蟲 (正式寫手)
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[求助]
求教大家一個微電極的封裝問題 一把淚的跪求�。�！
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各位大俠，本人正在制作針型微電極，但是碰到一個難題，就是封裝特別難，沒想到什么好的辦法。一個是選擇合適的封裝材料，要盡可能的絕緣不漏電；另外一個是怎樣控制封裝的精度，也就是怎樣控制針形非絕緣部分露出來的長度，希望能控制在10個微米以內(nèi)。按照通用的玻璃熔封的話又不行，兩者膨脹系數(shù)不一樣會漏電，而且由于在基體上度了一層，因而無法全封后磨出來。 大家有什么好的絕妙的辦法提供呢？迫切期望各位的解答 |
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darmstadtium
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yangking91: 金幣+35, ★★★很有幫助, thanks 2012-09-16 10:03:30
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聚二甲基硅氧烷（PDMS)是一種高分子有機硅化合物，通常被稱為有機硅。具有光學透明，且在一般情況下，被認為是惰性，無毒，不易燃。聚二甲基硅氧烷是最廣泛使用的硅為基礎的有機聚合物材料，其運用在生物微機電中的微流道系統(tǒng)、填縫劑、潤滑劑、隱形眼鏡。軟微影技術大量用于微流道系統(tǒng)。在硅晶板上設計渠道，然后倒入液態(tài)的二甲基硅氧烷在這些硅晶板并加熱使二甲基硅氧烷變硬。當二甲基硅氧烷移除，即使是最小的微流道設計細節(jié)也會印在PDMS(二甲基硅氧烷)板上的。有了這個特殊的硅橡膠板，利用反應離子蝕刻機(RIE)進行親水性表面改質(zhì)。一旦表面鍵結被破壞，通常是一塊載玻片放在激活的一側硅氧烷（側面的痕跡）。一但鍵結回到到正常狀態(tài)，玻璃是永久和PDMS二甲基硅氧烷)板結合，從原本硅晶板上設計渠道變成一個防水通道。有了這個技術，低價地制作微流道、微混合器、微泵浦、微閥門等元件，最小的轉寫幾何尺寸也能達到納米等級。 材料及加工技術、原理都列出來了，希望對樓主有用。 |
5樓2012-09-10 10:28:33
Jackcd12
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