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yangking91木蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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[求助]
求教大家一個(gè)微電極的封裝問(wèn)題 一把淚的跪求�。�！
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各位大俠，本人正在制作針型微電極，但是碰到一個(gè)難題，就是封裝特別難，沒(méi)想到什么好的辦法。一個(gè)是選擇合適的封裝材料，要盡可能的絕緣不漏電；另外一個(gè)是怎樣控制封裝的精度，也就是怎樣控制針形非絕緣部分露出來(lái)的長(zhǎng)度，希望能控制在10個(gè)微米以?xún)?nèi)。按照通用的玻璃熔封的話(huà)又不行，兩者膨脹系數(shù)不一樣會(huì)漏電，而且由于在基體上度了一層，因而無(wú)法全封后磨出來(lái)。 大家有什么好的絕妙的辦法提供呢？迫切期望各位的解答 |
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4樓2012-08-10 09:13:27
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聚二甲基硅氧烷（PDMS)是一種高分子有機(jī)硅化合物，通常被稱(chēng)為有機(jī)硅。具有光學(xué)透明，且在一般情況下，被認(rèn)為是惰性，無(wú)毒，不易燃。聚二甲基硅氧烷是最廣泛使用的硅為基礎(chǔ)的有機(jī)聚合物材料，其運(yùn)用在生物微機(jī)電中的微流道系統(tǒng)、填縫劑、潤(rùn)滑劑、隱形眼鏡。軟微影技術(shù)大量用于微流道系統(tǒng)。在硅晶板上設(shè)計(jì)渠道，然后倒入液態(tài)的二甲基硅氧烷在這些硅晶板并加熱使二甲基硅氧烷變硬。當(dāng)二甲基硅氧烷移除，即使是最小的微流道設(shè)計(jì)細(xì)節(jié)也會(huì)印在PDMS(二甲基硅氧烷)板上的。有了這個(gè)特殊的硅橡膠板，利用反應(yīng)離子蝕刻機(jī)(RIE)進(jìn)行親水性表面改質(zhì)。一旦表面鍵結(jié)被破壞，通常是一塊載玻片放在激活的一側(cè)硅氧烷（側(cè)面的痕跡）。一但鍵結(jié)回到到正常狀態(tài)，玻璃是永久和PDMS二甲基硅氧烷)板結(jié)合，從原本硅晶板上設(shè)計(jì)渠道變成一個(gè)防水通道。有了這個(gè)技術(shù)，低價(jià)地制作微流道、微混合器、微泵浦、微閥門(mén)等元件，最小的轉(zhuǎn)寫(xiě)幾何尺寸也能達(dá)到納米等級(jí)。 材料及加工技術(shù)、原理都列出來(lái)了，希望對(duì)樓主有用。 |
5樓2012-09-10 10:28:33
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