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集氣瓶鐵蟲 (小有名氣)
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[求助]
大氣壓非平衡放電等離子體源�。�！
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請(qǐng)問(wèn)常見(jiàn)的大氣壓非平衡放電等離子體源有幾種？是不是分為激光、微波和高頻�。窟�有就是采用裸露金屬電極結(jié)構(gòu)的大氣壓射頻輝光放電相比于DBD的優(yōu)勢(shì)在哪里？ [ Last edited by 華麗的飄過(guò) on 2012-9-22 at 21:01 ] |
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3樓2012-09-13 09:43:30
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【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
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還是就我知道的一點(diǎn)獻(xiàn)丑了： 我不太清楚你說(shuō)的常見(jiàn)的大氣壓非平衡等離子體源指的是等離子體源還是用來(lái)產(chǎn)生等離子體的電源，因?yàn)閺哪愫竺嬲f(shuō)的激光、微波和高頻貌似是用來(lái)產(chǎn)生等離子體的幾種常見(jiàn)方式，但不見(jiàn)得都是大氣壓非平衡等離子體。激光據(jù)我所知目前熱點(diǎn)在于與物質(zhì)相互作用在表面產(chǎn)生等離子體，如PLD薄膜沉積，但一般都在低氣壓下。還有就是直接研究表面等離子體，偏光學(xué)范疇。微波一般來(lái)說(shuō)低氣壓下用的比較多，如微波ECR放電氣壓范圍在0。1--1pa范圍內(nèi)。高頻常見(jiàn)用在等離子體源中的是射頻放電（13.56MHz）和中頻（高于射頻頻率）。但目前主要也是用于低氣壓，大氣壓射頻放電目前也是算一個(gè)研究熱點(diǎn)吧。 采用裸露金屬電極在大氣壓下采用大氣壓射頻放電，如果（據(jù)我所知，挺難產(chǎn)生的）能產(chǎn)生輝光放電當(dāng)然比DBD好啊，DBD不容易產(chǎn)生輝光，即使產(chǎn)生了電子溫度肯定沒(méi)有射頻產(chǎn)生的高！ |
4樓2012-09-14 13:06:26
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5樓2012-09-14 16:12:47
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