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集氣瓶鐵蟲 (小有名氣)
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[求助]
大氣壓非平衡放電等離子體源�。�！
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請問常見的大氣壓非平衡放電等離子體源有幾種？是不是分為激光、微波和高頻��？還有就是采用裸露金屬電極結(jié)構(gòu)的大氣壓射頻輝光放電相比于DBD的優(yōu)勢在哪里？ [ Last edited by 華麗的飄過 on 2012-9-22 at 21:01 ] |
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3樓2012-09-13 09:43:30
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【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
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還是就我知道的一點(diǎn)獻(xiàn)丑了： 我不太清楚你說的常見的大氣壓非平衡等離子體源指的是等離子體源還是用來產(chǎn)生等離子體的電源，因為從你后面說的激光、微波和高頻貌似是用來產(chǎn)生等離子體的幾種常見方式，但不見得都是大氣壓非平衡等離子體。激光據(jù)我所知目前熱點(diǎn)在于與物質(zhì)相互作用在表面產(chǎn)生等離子體，如PLD薄膜沉積，但一般都在低氣壓下。還有就是直接研究表面等離子體，偏光學(xué)范疇。微波一般來說低氣壓下用的比較多，如微波ECR放電氣壓范圍在0。1--1pa范圍內(nèi)。高頻常見用在等離子體源中的是射頻放電（13.56MHz）和中頻（高于射頻頻率）。但目前主要也是用于低氣壓，大氣壓射頻放電目前也是算一個研究熱點(diǎn)吧。 采用裸露金屬電極在大氣壓下采用大氣壓射頻放電，如果（據(jù)我所知，挺難產(chǎn)生的）能產(chǎn)生輝光放電當(dāng)然比DBD好啊，DBD不容易產(chǎn)生輝光，即使產(chǎn)生了電子溫度肯定沒有射頻產(chǎn)生的高！ |
4樓2012-09-14 13:06:26
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7樓2012-09-14 20:25:58
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