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集氣瓶鐵蟲 (小有名氣)
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[求助]
大氣壓非平衡放電等離子體源。!
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請(qǐng)問(wèn)常見的大氣壓非平衡放電等離子體源有幾種?是不是分為激光、微波和高頻。窟有就是采用裸露金屬電極結(jié)構(gòu)的大氣壓射頻輝光放電相比于DBD的優(yōu)勢(shì)在哪里? [ Last edited by 華麗的飄過(guò) on 2012-9-22 at 21:01 ] |

專家顧問(wèn) (知名作家)
P-M-I之初生牛犢

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鐵蟲 (小有名氣)

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P-M-I之初生牛犢
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還是就我知道的一點(diǎn)獻(xiàn)丑了: 我不太清楚你說(shuō)的常見的大氣壓非平衡等離子體源指的是等離子體源還是用來(lái)產(chǎn)生等離子體的電源,因?yàn)閺哪愫竺嬲f(shuō)的激光、微波和高頻貌似是用來(lái)產(chǎn)生等離子體的幾種常見方式,但不見得都是大氣壓非平衡等離子體。激光據(jù)我所知目前熱點(diǎn)在于與物質(zhì)相互作用在表面產(chǎn)生等離子體,如PLD薄膜沉積,但一般都在低氣壓下。還有就是直接研究表面等離子體,偏光學(xué)范疇。微波一般來(lái)說(shuō)低氣壓下用的比較多,如微波ECR放電氣壓范圍在0。1--1pa范圍內(nèi)。高頻常見用在等離子體源中的是射頻放電(13.56MHz)和中頻(高于射頻頻率)。但目前主要也是用于低氣壓,大氣壓射頻放電目前也是算一個(gè)研究熱點(diǎn)吧。 采用裸露金屬電極在大氣壓下采用大氣壓射頻放電,如果(據(jù)我所知,挺難產(chǎn)生的)能產(chǎn)生輝光放電當(dāng)然比DBD好啊,DBD不容易產(chǎn)生輝光,即使產(chǎn)生了電子溫度肯定沒(méi)有射頻產(chǎn)生的高! |

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