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[交流] 四探針?lè)椒y(cè)試薄膜的面電阻問(wèn)題

四探針?lè)椒y(cè)試薄膜的面電阻，4個(gè)探針很難保證與薄膜表面有良好的接觸，那么，需要在薄膜表面上制備電極么，然后再把探針頭放在四個(gè)小的電極上，各位大蝦在利用四探針測(cè)試薄膜的面電阻時(shí)，都是如何保證探針和薄膜表面接觸性問(wèn)題的，希望不吝賜教

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1樓 2012-09-16 14:34:05

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laserchen

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四探針?lè)y(cè)薄膜的電阻無(wú)需用電極，直接接觸樣品即可。實(shí)際上，四探針?lè)ㄍǔＶ饕脕?lái)測(cè)電導(dǎo)率比較大的樣品，之所以用四探針就是因?yàn)楸∧け旧黼娮栊�，此方法可以消除探針與薄膜之間的接觸電阻，從而測(cè)到薄膜真正的電阻率，具體原理請(qǐng)參考任何一本關(guān)于四探針?lè)椒ǖ臅蛭墨I(xiàn)。因此，無(wú)需制備電極以減小接觸。實(shí)際上，如果制備電極就會(huì)使接觸變?yōu)榉屈c(diǎn)接觸，從而改變四探針?lè)椒ㄋ蕾嚨哪Ｐ停炊鴷?huì)帶來(lái)更大的誤差。

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13樓2014-05-13 17:19:13

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bqian1

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蔣青松: 金幣+1, 鼓勵(lì)交流 2012-09-19 07:54:56

首先要清晰樣品，表面沒(méi)有污垢，然后又幾種辦法可以參考：一、直接點(diǎn)銦，要求樣品相對(duì)比較堅(jiān)固，二、可以用普通銀膠，三可以用AB銀膠1:1混合，如果烘烤，如果樣品小，可以先點(diǎn)金線，再點(diǎn)銅線

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5樓2012-09-17 08:10:24

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wu1008

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hbf(金幣+1): 謝謝參與

按照儀器的操作說(shuō)明，抵消探針與薄膜的接觸勢(shì)壘

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2樓2012-09-16 18:03:27

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yueeryjf

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hbf(金幣+1): 謝謝參與

請(qǐng)問(wèn)你的薄膜是什么材質(zhì)的？

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3樓2012-09-16 21:45:02

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chemlh

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4樓2012-09-17 07:19:39

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feisiyan

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蔣青松: 金幣+1, 鼓勵(lì)交流 2012-09-19 07:55:18

這要看你做的薄膜是什么材質(zhì)的既然要測(cè)電阻必然具有一定的導(dǎo)電性我做的材料不用在上邊度電極直接將探針接觸測(cè)就可以

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6樓2012-09-18 15:12:39

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feisiyan

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小木蟲: 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖

這要看你做的薄膜是什么材質(zhì)的既然要測(cè)電阻必然具有一定的導(dǎo)電性我做的材料不用在上邊度電極直接將探針接觸測(cè)就可以

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7樓2012-09-18 15:19:07

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6樓: Originally posted by feisiyan at 2012-09-18 15:12:39
這要看你做的薄膜是什么材質(zhì)的既然要測(cè)電阻必然具有一定的導(dǎo)電性我做的材料不用在上邊度電極直接將探針接觸測(cè)就可以

半導(dǎo)體薄膜，方阻比較大，

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8樓2012-09-19 20:08:19

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5樓: Originally posted by bqian1 at 2012-09-17 08:10:24
首先要清晰樣品，表面沒(méi)有污垢，然后又幾種辦法可以參考：一、直接點(diǎn)銦，要求樣品相對(duì)比較堅(jiān)固，二、可以用普通銀膠，三可以用AB銀膠1:1混合，如果烘烤，如果樣品小，可以先點(diǎn)金線，再點(diǎn)銅線

半導(dǎo)體薄膜，方阻比較大
問(wèn)題是四探針間距很小，做了電極以后，不容易放上去，要做引線，這樣誤差大么，求指教

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9樓2012-09-19 20:11:37

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zcq4891

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四根探針間距僅僅1mm，要做銦電極之類是不是太難了。有條件的就換一種方法測(cè)試，直接做霍爾測(cè)試，方便做電極，也準(zhǔn)確一些，載流子濃度等等都有了

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10樓2012-11-30 15:55:38

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似水流年123

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11樓2012-12-06 18:02:24

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酒肉和尚

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10樓: Originally posted by zcq4891 at 2012-11-30 15:55:38
四根探針間距僅僅1mm，要做銦電極之類是不是太難了。有條件的就換一種方法測(cè)試，直接做霍爾測(cè)試，方便做電極，也準(zhǔn)確一些，載流子濃度等等都有了

霍爾效應(yīng)儀測(cè)半導(dǎo)體薄膜的話，也要保證良好的歐姆接觸，直接探針接觸是不行的，也需要做做電極的。

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12樓2014-04-14 19:50:40

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bluegenes

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四探針不需要做電極，直接壓上去就可以

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14樓2022-03-10 13:44:53

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