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北京石油化工學(xué)院2026年研究生招生接收調(diào)劑公告

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creepon

鐵蟲(chóng) (小有名氣)

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[求助] 有在玻璃上磁控濺射上金做電極嗎？

我想知道在如果想在玻璃上磁控濺射金做電極之后，你們?cè)趺辞逑催@些電極，感覺(jué)很脆，不敢去超聲。

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1樓 2012-09-18 10:08:29

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Jackcd12

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【答案】應(yīng)助回帖

我是通過(guò)電子膠作掩模制作圖案，不需要除掉底層Ti.
估計(jì)你是先做一層金屬膜，再用激光刻蝕成圖案，就需要除掉Ti，激光打掉Ti估計(jì)要費(fèi)些功夫，也可以考慮Cr。如果你實(shí)驗(yàn)室用的次數(shù)少，時(shí)間短的話(huà)，熱處理好的話(huà)，不要墊底，短時(shí)間用也許還行。濺射法沉積的效果比蒸發(fā)法好得多。

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8樓2012-09-19 13:31:37

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Jackcd12

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【答案】應(yīng)助回帖

★
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
seagrove: 金幣+1, 感謝應(yīng)助交流 2012-09-18 10:20:34

金的附著力很差，浸泡常常會(huì)導(dǎo)致Au層松脫，一般沒(méi)有必要清洗，真空腔拿出來(lái)直接用最好。

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2樓2012-09-18 10:11:27

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引用回帖:

2樓: Originally posted by Jackcd12 at 2012-09-18 10:11:27
金的附著力很差，浸泡常常會(huì)導(dǎo)致Au層松脫，一般沒(méi)有必要清洗，真空腔拿出來(lái)直接用最好。

打底后是不是會(huì)好點(diǎn)

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3樓2012-09-18 10:30:06

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【答案】應(yīng)助回帖

當(dāng)然好得多，一般用Cr, or Ti作為粘連層，10-20 nm左右的厚度。Au層厚度50-200 nm都可以。

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4樓2012-09-18 11:31:59

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