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feng毛毛銀蟲 (小有名氣)
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[求助]
硅片上旋涂knn前驅(qū)體溶液
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1.我做的是KNN薄膜，將凝膠旋涂在硅片上時(shí)，涂第一層的時(shí)候，總能看到交界面上有氣泡，熱處理會(huì)產(chǎn)生裂紋，怎樣操作才會(huì)減少氣泡的產(chǎn)生，是硅片不干凈么?求高手指點(diǎn) 2.旋涂時(shí)，怎樣將膠滴到硅片上啊，是從中間開始滴一滴，讓它自己慢慢展開？還是從中間滴，直到片上都是膠為止？不勝感激 |
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yswyx 
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【答案】應(yīng)助回帖
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不了解您的凝膠是什么性質(zhì)，但從我們涂光刻膠的經(jīng)驗(yàn)來說，應(yīng)該對您的問題有幫助。 1. 交界面上的氣泡產(chǎn)生有多種可能。一種是因?yàn)槟愕哪z里本身含有氣泡，這個(gè)需要將你凝膠靜置甚至做真空排泡才可以，即使微小的氣泡加熱后也會(huì)破裂的。你可以在顯微鏡下觀察一下，如果涂好膠后，這個(gè)氣泡是在凝膠層中間的，多半是凝膠本身含有氣泡。真空排泡是否能做，要看你的凝膠在真空中的壽命。另外還可以做離心，然后滴膠的時(shí)候，取樣從瓶子的底部取樣，或者離心后再排泡。 第二種是硅片上本身不干凈，比如有顆�；蛘哂袆e的沾污。顆粒會(huì)被凝膠包裹，但是顆粒沿徑向向外側(cè)可能會(huì)有氣體被包裹。顯微鏡下觀察，如果氣泡中心有核，那就是顆粒問題。如果是別的沾污，也有可能造成氣泡，因?yàn)闀?huì)導(dǎo)致凝膠和硅片的粘滯性發(fā)生變化。避免顆粒和沾污的最好辦法就是用半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)的清洗方法做清洗，丙酮酒精超聲之類的是洗不干凈片子的。 2. 涂膠機(jī)一般都可以把涂膠分為兩個(gè)時(shí)段，第一個(gè)時(shí)段低速，用于把膠展開，第二個(gè)時(shí)段高速用于均勻。所以你可以在低速段讓它慢慢展開，至于多少轉(zhuǎn)速，要看你凝膠的粘度。如果您的凝膠比較黏，可以從中間滴，同時(shí)在片子緩慢旋轉(zhuǎn)的時(shí)候，慢慢向徑向外側(cè)移動(dòng)，這樣可以保證在小消耗量下涂滿片子。 如果你想洗硅片或者直接用免洗的真空包裝的片子，我應(yīng)該可以幫你。 |
2樓2012-09-20 13:52:27
wu1008
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feng毛毛
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5樓2012-09-20 14:57:08
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6樓2012-09-20 20:43:05
feng毛毛
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7樓2012-09-20 21:59:18
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8樓2012-09-20 22:11:39
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9樓2012-09-21 10:24:39
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