 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 9 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 1490 | 回復(fù): 8 | |||||
feng毛毛銀蟲(chóng) (小有名氣)
|
[求助]
硅片上旋涂knn前驅(qū)體溶液
|
|
1.我做的是KNN薄膜，將凝膠旋涂在硅片上時(shí)，涂第一層的時(shí)候，總能看到交界面上有氣泡，熱處理會(huì)產(chǎn)生裂紋，怎樣操作才會(huì)減少氣泡的產(chǎn)生，是硅片不干凈么?求高手指點(diǎn) 2.旋涂時(shí)，怎樣將膠滴到硅片上啊，是從中間開(kāi)始滴一滴，讓它自己慢慢展開(kāi)？還是從中間滴，直到片上都是膠為止？不勝感激 |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
288求調(diào)劑 一志愿哈工大 材料與化工
已經(jīng)有9人回復(fù)
-
化學(xué)工程085602 305分求調(diào)劑
已經(jīng)有31人回復(fù)
-
070300化學(xué)專業(yè)279調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復(fù)
-
304求調(diào)劑
已經(jīng)有6人回復(fù)
-
085404 22408 315分
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
一志愿a區(qū)211，085601-307分求調(diào)劑
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
求調(diào)劑
已經(jīng)有7人回復(fù)
-
290分調(diào)劑求助
已經(jīng)有7人回復(fù)
-
一志愿華東理工大學(xué)，080500學(xué)碩，317分，求調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復(fù)
-
考研調(diào)劑求助
已經(jīng)有4人回復(fù)
yswyx 
專家顧問(wèn) (著名寫手)
-
專家經(jīng)驗(yàn): +651 - 應(yīng)助: 807 (博后)
- 貴賓: 0.204
- 金幣: 2618.9
- 散金: 6018
- 紅花: 112
- 帖子: 2705
- 在線: 577.8小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 446878
- 注冊(cè): 2007-10-30
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
- 管轄: 微米和納米
【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
zhaohaixing: 金幣+1, 鼓勵(lì)交流 2012-09-20 15:52:14
feng毛毛: 金幣+25, ★★★★★最佳答案 2012-09-21 22:22:56
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
zhaohaixing: 金幣+1, 鼓勵(lì)交流 2012-09-20 15:52:14
feng毛毛: 金幣+25, ★★★★★最佳答案 2012-09-21 22:22:56
|
不了解您的凝膠是什么性質(zhì)，但從我們涂光刻膠的經(jīng)驗(yàn)來(lái)說(shuō)，應(yīng)該對(duì)您的問(wèn)題有幫助。 1. 交界面上的氣泡產(chǎn)生有多種可能。一種是因?yàn)槟愕哪z里本身含有氣泡，這個(gè)需要將你凝膠靜置甚至做真空排泡才可以，即使微小的氣泡加熱后也會(huì)破裂的。你可以在顯微鏡下觀察一下，如果涂好膠后，這個(gè)氣泡是在凝膠層中間的，多半是凝膠本身含有氣泡。真空排泡是否能做，要看你的凝膠在真空中的壽命。另外還可以做離心，然后滴膠的時(shí)候，取樣從瓶子的底部取樣，或者離心后再排泡。 第二種是硅片上本身不干凈，比如有顆粒或者有別的沾污。顆粒會(huì)被凝膠包裹，但是顆粒沿徑向向外側(cè)可能會(huì)有氣體被包裹。顯微鏡下觀察，如果氣泡中心有核，那就是顆粒問(wèn)題。如果是別的沾污，也有可能造成氣泡，因?yàn)闀?huì)導(dǎo)致凝膠和硅片的粘滯性發(fā)生變化。避免顆粒和沾污的最好辦法就是用半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)的清洗方法做清洗，丙酮酒精超聲之類的是洗不干凈片子的。 2. 涂膠機(jī)一般都可以把涂膠分為兩個(gè)時(shí)段，第一個(gè)時(shí)段低速，用于把膠展開(kāi)，第二個(gè)時(shí)段高速用于均勻。所以你可以在低速段讓它慢慢展開(kāi)，至于多少轉(zhuǎn)速，要看你凝膠的粘度。如果您的凝膠比較黏，可以從中間滴，同時(shí)在片子緩慢旋轉(zhuǎn)的時(shí)候，慢慢向徑向外側(cè)移動(dòng)，這樣可以保證在小消耗量下涂滿片子。 如果你想洗硅片或者直接用免洗的真空包裝的片子，我應(yīng)該可以幫你。 |
2樓2012-09-20 13:52:27
wu1008
金蟲(chóng) (著名寫手)
- 應(yīng)助: 243 (大學(xué)生)
- 金幣: 1486.4
- 散金: 176
- 紅花: 14
- 帖子: 1788
- 在線: 197.6小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 1859230
- 注冊(cè): 2012-06-14
- 性別: GG
- 專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
3樓2012-09-20 13:57:43
feng毛毛
銀蟲(chóng) (小有名氣)
- 應(yīng)助: 3 (幼兒園)
- 金幣: 36.1
- 帖子: 62
- 在線: 117.7小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 1772777
- 注冊(cè): 2012-04-23
- 性別: GG
- 專業(yè): 無(wú)機(jī)材料化學(xué)
4樓2012-09-20 14:55:08
feng毛毛
銀蟲(chóng) (小有名氣)
- 應(yīng)助: 3 (幼兒園)
- 金幣: 36.1
- 帖子: 62
- 在線: 117.7小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 1772777
- 注冊(cè): 2012-04-23
- 性別: GG
- 專業(yè): 無(wú)機(jī)材料化學(xué)
5樓2012-09-20 14:57:08
wu1008
金蟲(chóng) (著名寫手)
- 應(yīng)助: 243 (大學(xué)生)
- 金幣: 1486.4
- 散金: 176
- 紅花: 14
- 帖子: 1788
- 在線: 197.6小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 1859230
- 注冊(cè): 2012-06-14
- 性別: GG
- 專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
6樓2012-09-20 20:43:05
feng毛毛
銀蟲(chóng) (小有名氣)
- 應(yīng)助: 3 (幼兒園)
- 金幣: 36.1
- 帖子: 62
- 在線: 117.7小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 1772777
- 注冊(cè): 2012-04-23
- 性別: GG
- 專業(yè): 無(wú)機(jī)材料化學(xué)
7樓2012-09-20 21:59:18
yswyx
專家顧問(wèn) (著名寫手)
-
專家經(jīng)驗(yàn): +651 - 應(yīng)助: 807 (博后)
- 貴賓: 0.204
- 金幣: 2618.9
- 散金: 6018
- 紅花: 112
- 帖子: 2705
- 在線: 577.8小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 446878
- 注冊(cè): 2007-10-30
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
- 管轄: 微米和納米
【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★ ★ ★
feng毛毛: 金幣+5, ★★★很有幫助 2012-09-22 09:43:18
feng毛毛: 金幣+5, ★★★很有幫助 2012-09-22 09:43:18
|
要看你鍍Pt的片子有沒(méi)有過(guò)渡層，一般過(guò)渡層用Ti比較多。清洗的時(shí)候，邊沿露出的過(guò)渡層多少會(huì)被腐蝕一點(diǎn)點(diǎn)，Pt不會(huì)。一般半導(dǎo)體清洗方法洗鍍Pt的片子沒(méi)啥問(wèn)題。 如果你的Pt層鍍的比較差，粘附性不好，那就要小心了。 免洗的鍍Pt的片子是沒(méi)有的，不是標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品，免洗的硅片有，拆包就能用。不過(guò)我可以幫你洗鍍Pt的片子，拆包就能用。  |
8樓2012-09-20 22:11:39
wu1008
金蟲(chóng) (著名寫手)
- 應(yīng)助: 243 (大學(xué)生)
- 金幣: 1486.4
- 散金: 176
- 紅花: 14
- 帖子: 1788
- 在線: 197.6小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 1859230
- 注冊(cè): 2012-06-14
- 性別: GG
- 專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
9樓2012-09-21 10:24:39
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 feng毛毛 的主題更新
| 9 | 1/1 | 返回列表 |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 080500-315分復(fù)試調(diào)劑 +4 | 上岸3821 2026-03-31 | 4/200 |
|
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 070300化學(xué)354求調(diào)劑 +12 | 101次希望 2026-03-28 | 12/600 |
|
|
|
[考研] 08工科，295，接受跨專業(yè)調(diào)劑 +3 | lmnlzy 2026-03-31 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 070300一志愿211，312分求調(diào)劑院校 +8 | 小黃鴨寶 2026-03-30 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 085600材料與化工329分求調(diào)劑 +5 | 這是有太陽(yáng)哇 2026-03-25 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 317求調(diào)劑 +8 | 十閑wx 2026-03-24 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 085600 286分 材料求調(diào)劑 +11 | 麻辣魷魚(yú) 2026-03-27 | 12/600 |
|
|
|
[考研] 各位老師好，我的一志愿為北京科技大學(xué)085601材料專碩 +10 | Koxui 2026-03-28 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 26考研-291分-廈門大學(xué)（085601）-柔性電子學(xué)院材料工程專業(yè)求調(diào)劑 +5 | min3 2026-03-24 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 0703 化學(xué) 求調(diào)劑，一志愿山東大學(xué) 342 分 +7 | Shern—- 2026-03-28 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 284求調(diào)劑 +14 | junqihahaha 2026-03-26 | 15/750 |
|
|
|
[考研] 329求調(diào)劑 +8 | 星野? 2026-03-26 | 8/400 |
|
|
|
[碩博家園] 求調(diào)劑 有機(jī)化學(xué)考研356分 +10 | Nadiums 2026-03-25 | 11/550 |
|
|
|
[考研] 生物技術(shù)與工程 +7 | 1294608413 2026-03-25 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 求化學(xué)調(diào)劑 +11 | wulanna 2026-03-28 | 11/550 |
|
|
|
[考研] 考研調(diào)劑 +7 | 小蠟新筆 2026-03-29 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 一志愿南昌大學(xué)324求調(diào)劑 +5 | hanamiko 2026-03-29 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 070305高分子化學(xué)與物理 304分求調(diào)劑 +12 | c297914 2026-03-28 | 12/600 |
|
|
|
[考研] 0703化學(xué)求調(diào)劑，各位老師看看我�。�！ +5 | 祁祺祺 2026-03-25 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 材料專碩 335 分求調(diào)劑 +4 | 拒絕冷暴力 2026-03-25 | 4/200 |
|