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郭鳳杰銅蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
EBL光刻膠
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| 電子束刻蝕用的光刻膠除了PMMA還有那些啊，尤其靈敏度比PMMA高的 都有哪些啊，他們的靈敏度都為多少啊？大家誰(shuí)知道，謝謝了~ |
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yswyx 
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【答案】應(yīng)助回帖
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
郭鳳杰: 金幣+20, ★★★★★最佳答案 2012-09-22 10:26:45
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郭鳳杰: 金幣+20, ★★★★★最佳答案 2012-09-22 10:26:45
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UVIII是shipley很老的光刻膠了，是0.35~0.18um時(shí)代的光刻膠，本身分辨率很受限制，當(dāng)年我用的時(shí)候從來(lái)沒(méi)突破過(guò)0.2um，在我眼中是很爛的EBL光刻膠，因?yàn)樗旧砭褪枪鈱W(xué)膠。 除了PMMA之外，主要的電子束光刻膠有以下幾種： ZEP520：電子束正膠，做到50nm問(wèn)題不大，抗刻蝕性能好，劑量高，工藝窗口較大。缺點(diǎn)是很難買，沒(méi)有小包裝。 SAL601：電子束負(fù)膠，分辨率很好，也是當(dāng)年最喜歡用的膠，抗刻蝕性能好，劑量低，工藝窗口較小，工藝適應(yīng)性好。缺點(diǎn)同樣是很難買，沒(méi)小包裝。 HSQ：算是無(wú)機(jī)膠，分辨率極好，其他性能一般。也屬于很難買的膠，有小包裝。 不知道樓主說(shuō)的靈敏度具體是指什么？感光的最小劑量？那么這幾個(gè)都比PMMA好，SAL601最好。數(shù)據(jù)因?yàn)槭嗄炅擞洸坏昧�，你查查文獻(xiàn)吧。 反正這些膠都是很貴，比光學(xué)膠的價(jià)格要貴幾十倍。我這兒有渠道分裝，大家不用買大瓶的，需要就聯(lián)系我就是了。 |
3樓2012-09-21 18:05:06
lichi008
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2樓2012-09-21 17:42:05
quanten
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4樓2012-09-21 18:34:08
郭鳳杰
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送鮮花一朵 |
謝謝您的幫助，我說(shuō)的靈敏度就是表明抗蝕劑對(duì)高能粒子作用反應(yīng)的敏感程度，一般以微庫(kù)每平方厘米為單位，數(shù)值越小靈敏度越高。應(yīng)該就是你說(shuō)的感光劑量。我具體就是想了解一下做電子束刻蝕除了PMMA，還可以用那些光刻膠（電子束抗蝕劑），他們的靈敏度與PMMA比較如何，重點(diǎn)是有哪些是比PMMA靈敏度數(shù)值大 （也就是靈敏度低（標(biāo)題上描述可能有誤），我想在相同的時(shí)間內(nèi)減輕曝光的程度），如果選用后對(duì)電子束刻蝕工藝有什么影響，如果您對(duì)這方面比較了解的話謝謝指導(dǎo)了，非常感謝！~ |
5樓2012-09-21 19:12:32
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