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郭鳳杰銅蟲 (初入文壇)
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[求助]
EBL光刻膠
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| 電子束刻蝕用的光刻膠除了PMMA還有那些啊，尤其靈敏度比PMMA高的 都有哪些啊，他們的靈敏度都為多少啊？大家誰知道，謝謝了~ |
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yswyx 
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郭鳳杰: 金幣+20, ★★★★★最佳答案 2012-09-22 10:26:45
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UVIII是shipley很老的光刻膠了，是0.35~0.18um時(shí)代的光刻膠，本身分辨率很受限制，當(dāng)年我用的時(shí)候從來沒突破過0.2um，在我眼中是很爛的EBL光刻膠，因?yàn)樗旧砭褪枪鈱W(xué)膠。 除了PMMA之外，主要的電子束光刻膠有以下幾種： ZEP520：電子束正膠，做到50nm問題不大，抗刻蝕性能好，劑量高，工藝窗口較大。缺點(diǎn)是很難買，沒有小包裝。 SAL601：電子束負(fù)膠，分辨率很好，也是當(dāng)年最喜歡用的膠，抗刻蝕性能好，劑量低，工藝窗口較小，工藝適應(yīng)性好。缺點(diǎn)同樣是很難買，沒小包裝。 HSQ：算是無機(jī)膠，分辨率極好，其他性能一般。也屬于很難買的膠，有小包裝。 不知道樓主說的靈敏度具體是指什么？感光的最小劑量？那么這幾個(gè)都比PMMA好，SAL601最好。數(shù)據(jù)因?yàn)槭嗄炅擞洸坏昧耍悴椴槲墨I(xiàn)吧。 反正這些膠都是很貴，比光學(xué)膠的價(jià)格要貴幾十倍。我這兒有渠道分裝，大家不用買大瓶的，需要就聯(lián)系我就是了。 |
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3樓2012-09-21 18:05:06
quanten
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4樓2012-09-21 18:34:08
lichi008
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2樓2012-09-21 17:42:05
郭鳳杰
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送鮮花一朵 |
謝謝您的幫助，我說的靈敏度就是表明抗蝕劑對(duì)高能粒子作用反應(yīng)的敏感程度，一般以微庫每平方厘米為單位，數(shù)值越小靈敏度越高。應(yīng)該就是你說的感光劑量。我具體就是想了解一下做電子束刻蝕除了PMMA，還可以用那些光刻膠（電子束抗蝕劑），他們的靈敏度與PMMA比較如何，重點(diǎn)是有哪些是比PMMA靈敏度數(shù)值大 （也就是靈敏度低（標(biāo)題上描述可能有誤），我想在相同的時(shí)間內(nèi)減輕曝光的程度），如果選用后對(duì)電子束刻蝕工藝有什么影響，如果您對(duì)這方面比較了解的話謝謝指導(dǎo)了，非常感謝！~ |
5樓2012-09-21 19:12:32
yswyx
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【答案】應(yīng)助回帖
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PMMA的靈敏度是最差的了，沒見過比PMMA靈敏度還差的。具體數(shù)據(jù)是一點(diǎn)兒都不記得了，畢竟十多年了。其他我說的那幾種都挺不錯(cuò)。 我不是很明白你說的相同時(shí)間內(nèi)減輕曝光的程度。我想知道你所謂的相同時(shí)間是指電子束掃過硅片表面的時(shí)間？還是指片子整體加工的時(shí)間？減輕曝光程度是指曝光的劑量？ 因?yàn)椴恢滥愕幕A(chǔ)是什么樣的，所以有點(diǎn)兒不知道該怎么說，寫帖子效率太低了，我先試試，如果還是感覺溝通不清楚，咱們可以QQ聊。 電子束光刻中參數(shù)設(shè)定中有影響的有以下幾個(gè) 加速電壓：比如50KV 電流密度：比如幾個(gè)nA 束斑尺寸：一般幾十納米到幾納米，很難測(cè)量，一遍電流密度調(diào)的越小，束斑尺寸越小。 劑量：uC/cm2 一般我們做細(xì)線條，就是把電流調(diào)最小，束斑調(diào)最圓，然后設(shè)定個(gè)劑量，就搞定了。你所謂的減輕曝光的程度，是不是說，減少曝光的劑量？其他不變？如果這樣的話，膠可能就曝不透，顯影顯不開，光學(xué)顯微鏡下，線條之間是黑的。 如果你說的是減小電子的加速電壓，那么就意味著光刻膠中電子的前散射和背散射發(fā)生變化，散射斑變大，曝光出來的線條變粗。如果繼續(xù)降低，最終背散射影響忽略不計(jì)，前散射變化不大，曝光出來的線條變細(xì)。 其實(shí)這些東西幾十年前的論文就講的挺清楚的了。有本書叫handbook of lithography，或者事handbook of microlithography，其中第二章我記得講的是電子束光刻，幾年前在google book上看到這章是free的。你可以上去翻翻，google的后綴把cn改成de之類的能快點(diǎn)兒全點(diǎn)兒。如果找不到，我記得科圖和國圖好像各有一本，可以復(fù)印。還有一本是principle of lithogprahy，也講的挺透的。有這兩本書，基本的光刻的理論就不差啥了。 你要是覺得有疑問就加我QQ，寫帖子太累，老了  |
6樓2012-09-21 20:21:57
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7樓2012-09-21 20:23:36
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Dose Test的確很重要，要注意dose test的時(shí)效性。所以做電子束光刻的人很悲催，優(yōu)化工藝萬萬年。 說點(diǎn)不同的， PMMA不好，抗刻蝕性能差，做器件很爛。 大小結(jié)構(gòu)用不同的dose，這是最簡(jiǎn)單的臨近效應(yīng)矯正方法，有沒有效要看圖形的尺寸和分布。如果無效的話，還是要用軟件做圖形矯正設(shè)定階梯劑量做的。我碰到的情況有效的很少，可能因?yàn)楫?dāng)年做的大部分都是復(fù)雜的電路吧。 SAL膠精度差一點(diǎn)，但是好在它是負(fù)膠，曾經(jīng)用它扣出30nm以下，而且大面積圖形也非常完好。 whatever，有人一起討論電子束的感覺真好 |
8樓2012-09-21 20:34:01
郭鳳杰
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