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郭鳳杰銅蟲 (初入文壇)
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[求助]
EBL光刻膠
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| 電子束刻蝕用的光刻膠除了PMMA還有那些啊，尤其靈敏度比PMMA高的 都有哪些啊，他們的靈敏度都為多少��？大家誰知道，謝謝了~ |
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yswyx 
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2樓2012-09-21 17:42:05
yswyx
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【答案】應(yīng)助回帖
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
郭鳳杰: 金幣+20, ★★★★★最佳答案 2012-09-22 10:26:45
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郭鳳杰: 金幣+20, ★★★★★最佳答案 2012-09-22 10:26:45
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UVIII是shipley很老的光刻膠了，是0.35~0.18um時(shí)代的光刻膠，本身分辨率很受限制，當(dāng)年我用的時(shí)候從來沒突破過0.2um，在我眼中是很爛的EBL光刻膠，因?yàn)樗旧砭褪枪鈱W(xué)膠。 除了PMMA之外，主要的電子束光刻膠有以下幾種： ZEP520：電子束正膠，做到50nm問題不大，抗刻蝕性能好，劑量高，工藝窗口較大。缺點(diǎn)是很難買，沒有小包裝。 SAL601：電子束負(fù)膠，分辨率很好，也是當(dāng)年最喜歡用的膠，抗刻蝕性能好，劑量低，工藝窗口較小，工藝適應(yīng)性好。缺點(diǎn)同樣是很難買，沒小包裝。 HSQ：算是無機(jī)膠，分辨率極好，其他性能一般。也屬于很難買的膠，有小包裝。 不知道樓主說的靈敏度具體是指什么？感光的最小劑量？那么這幾個(gè)都比PMMA好，SAL601最好。數(shù)據(jù)因?yàn)槭嗄炅擞洸坏昧耍悴椴槲墨I(xiàn)吧。 反正這些膠都是很貴，比光學(xué)膠的價(jià)格要貴幾十倍。我這兒有渠道分裝，大家不用買大瓶的，需要就聯(lián)系我就是了。 |
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郭鳳杰3樓2012-09-21 18:05:06
quanten
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4樓2012-09-21 18:34:08
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