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chl5063木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
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APL－孫軍小組－金屬薄膜變形延性表征研究
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在“973”計(jì)劃“材料介觀性能表征”與該�！�985工程”科技創(chuàng)新平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目的聯(lián)合支持下，西安交通大學(xué)金屬材料強(qiáng)度國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室孫軍課題組針對(duì)目前廣泛用于柔性電路板上的金屬Cu薄膜/聚酰亞胺系統(tǒng)，在微拉力機(jī)上進(jìn)行試樣拉伸的同時(shí)，測(cè)得了金屬Cu薄膜微裂紋密度和宏觀電阻性能隨拉伸應(yīng)變的連續(xù)演變過(guò)程，并分別確定了金屬薄膜變性損傷萌生的臨界應(yīng)變值，即薄膜的延性。這一進(jìn)展對(duì)目前已大量應(yīng)用于深亞微米集成電路和微機(jī)電系統(tǒng)的金屬薄膜導(dǎo)線材料的變形延性性能的評(píng)價(jià)表征具有重要意義。 對(duì)金屬薄膜導(dǎo)線材料的變形延性性能，迄今尚未有有效的評(píng)價(jià)表征方法。通過(guò)自由膜的單拉伸，可以直接得到薄膜發(fā)生變形損傷的臨界應(yīng)變值，但在其制備和變形操作時(shí)存在很大困難；由于基板的極大影響，附著膜的本征延性性能得不到準(zhǔn)確測(cè)量。另一方面，有機(jī)電致發(fā)光技術(shù)是目前全球顯示設(shè)備制造業(yè)的頂尖技術(shù)之一，其中大量使用的金屬薄膜導(dǎo)線是關(guān)鍵部分。在卷曲變形時(shí)，其變形延性性能直接決定其服役性能，尤其是其可靠性，因此，金屬薄膜導(dǎo)線變形延性性能的正確表征及其膜厚尺度依賴性問(wèn)題就成為亟待解決的關(guān)鍵問(wèn)題之一。 據(jù)悉，科研人員對(duì)從700納米到60納米的系列厚度金屬Cu薄膜進(jìn)行測(cè)試分析后得出結(jié)論：分別由薄膜表面微裂紋密度統(tǒng)計(jì)法和實(shí)時(shí)電阻檢測(cè)法測(cè)得的Cu薄膜塑性變形損傷的兩套臨界應(yīng)變值非常接近，說(shuō)明上述兩種測(cè)試方法適用于金屬薄膜延性性能的評(píng)價(jià)表征，并可相互佐證；金屬Cu薄膜的臨界應(yīng)變值呈現(xiàn)出極強(qiáng)的尺寸效應(yīng)，即隨薄膜厚度的減小，其延性，即臨界應(yīng)變值單調(diào)下降，與屈服強(qiáng)度的變化趨勢(shì)相反，其原因主要?dú)w因于薄膜表面、界面對(duì)位錯(cuò)運(yùn)動(dòng)的約束作用及其尺寸依賴性。據(jù)悉，相關(guān)研究?jī)?nèi)容已發(fā)表于最近出版的《應(yīng)用物理快報(bào)》. |
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- 專(zhuān)業(yè): 金屬材料的微觀結(jié)構(gòu)
2樓2007-06-13 23:50:44
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