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qzhang6568木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
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[求助]
請(qǐng)問(wèn)鐵電材料的電極的幾個(gè)問(wèn)題
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大家都知道,測(cè)試鐵電薄膜材料需要加電極層來(lái)加電壓。 我制備了top 和 bottom SRO電極材料(4nm)來(lái)向鐵電薄膜層BiTiO3加電壓。但我用萬(wàn)用電表測(cè)試了兩個(gè)電極層,發(fā)現(xiàn)電阻都有幾兆以上,根本不導(dǎo)電。一般我們向SRO兩個(gè)導(dǎo)電電極層上鍍點(diǎn)狀Ag膠,然后就可以加上電壓。我的問(wèn)題是:現(xiàn)在兩個(gè)SRO層都不導(dǎo)電,如果還是在SRO電極層上鍍Ag膠點(diǎn),加電壓的話(huà),能否加的上? 如果能加上,那應(yīng)該是加到了SRO/BTO/SRO這三層上,而不是加到了鐵電的BTO層上,請(qǐng)問(wèn)是這樣嗎? 有沒(méi)有蟲(chóng)友做電極層的?本來(lái)SRO是導(dǎo)電的,卻變成了絕緣的,請(qǐng)問(wèn)是不是只用萬(wàn)用電表測(cè)試不準(zhǔn)確(實(shí)際上導(dǎo)電),還是說(shuō)確實(shí)變成了絕緣的?原因是什么呢?薄膜太薄嗎?還是別的什么原因? 請(qǐng)達(dá)人指點(diǎn)迷津。 |
半導(dǎo)體技術(shù) | 表征方法 |
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我認(rèn)為原因是:你的SRO電極太薄了。你用萬(wàn)用表測(cè),電極棒很容易劃破SRO電極層而接觸到下面的絕緣材料。這樣測(cè)出來(lái)的電阻自然不準(zhǔn)了。 一個(gè)辦法是可以用導(dǎo)線(xiàn)粘點(diǎn)銀漿,連在電極上,再用萬(wàn)用表跟導(dǎo)線(xiàn)連接,這樣測(cè)的電阻就準(zhǔn)了。 |
金蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
鐵蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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