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qzhang6568木蟲 (著名寫手)
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[求助]
請問鐵電材料的電極的幾個問題
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大家都知道,測試鐵電薄膜材料需要加電極層來加電壓。 我制備了top 和 bottom SRO電極材料(4nm)來向鐵電薄膜層BiTiO3加電壓。但我用萬用電表測試了兩個電極層,發(fā)現(xiàn)電阻都有幾兆以上,根本不導(dǎo)電。一般我們向SRO兩個導(dǎo)電電極層上鍍點(diǎn)狀Ag膠,然后就可以加上電壓。我的問題是:現(xiàn)在兩個SRO層都不導(dǎo)電,如果還是在SRO電極層上鍍Ag膠點(diǎn),加電壓的話,能否加的上? 如果能加上,那應(yīng)該是加到了SRO/BTO/SRO這三層上,而不是加到了鐵電的BTO層上,請問是這樣嗎? 有沒有蟲友做電極層的?本來SRO是導(dǎo)電的,卻變成了絕緣的,請問是不是只用萬用電表測試不準(zhǔn)確(實(shí)際上導(dǎo)電),還是說確實(shí)變成了絕緣的?原因是什么呢?薄膜太薄嗎?還是別的什么原因? 請達(dá)人指點(diǎn)迷津。 |
半導(dǎo)體技術(shù) | 表征方法 |
金蟲 (著名寫手)
鐵蟲 (正式寫手)
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