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在Pt/Ti/SiO2/Si 上旋涂鍍BiFeO3膜，第一層能涂上，第二層開始怎么沒涂上啊
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| 在Pt/Ti/SiO2/Si 上旋涂鍍BiFeO3膜，第一層能涂上，第二層開始怎么感覺沒涂上啊，第二層之后涂烘干的時(shí)候表面感覺就沒變化，涂了十幾層感覺好像沒變化，測表面電阻和基底的電阻差不多，才幾個(gè)歐姆，在硅片上試就沒問題，請(qǐng)教大俠們是怎么回事啊 |
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【答案】應(yīng)助回帖
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
chemlh: 金幣+1, 歡迎積極交流 2012-10-31 18:17:03
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
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涂多層膜的時(shí)候，第一層總是最后的一層，后面其它層的涂覆，因?yàn)槿軇┒际且粯拥�，所以�?huì)溶解涂好的第一層，并且流體在表面的流阻會(huì)比第一次低很多。所以第二次涂膜的厚度，會(huì)小于第一層。 第二層以后涂覆的厚度變化，肉眼是很難觀察的，因?yàn)楹偷谝淮蔚耐庥^是一樣的，只是因?yàn)橥扛驳谋∧け砻鏁?huì)有起伏，所以隨著不斷的重復(fù)涂膜，薄膜整體的厚度均勻性會(huì)越來越差。但是很多時(shí)候這個(gè)變化也是肉眼難以觀察的。 建議你還是用臺(tái)階儀在涂覆的過程中不斷的測一下膜厚。也可以人為的制造一些斷層，通過顯微鏡觀察。 |
2樓2012-10-31 15:16:33
3樓2012-10-31 15:33:58
4樓2012-10-31 15:44:32
yswyx
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