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在Pt/Ti/SiO2/Si 上旋涂鍍BiFeO3膜,第一層能涂上,第二層開始怎么沒涂上啊
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| 在Pt/Ti/SiO2/Si 上旋涂鍍BiFeO3膜,第一層能涂上,第二層開始怎么感覺沒涂上啊,第二層之后涂烘干的時(shí)候表面感覺就沒變化,涂了十幾層感覺好像沒變化,測表面電阻和基底的電阻差不多,才幾個(gè)歐姆,在硅片上試就沒問題,請教大俠們是怎么回事啊 |
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涂多層膜的時(shí)候,第一層總是最后的一層,后面其它層的涂覆,因?yàn)槿軇┒际且粯拥,所以會溶解涂好的第一層,并且流體在表面的流阻會比第一次低很多。所以第二次涂膜的厚度,會小于第一層。 第二層以后涂覆的厚度變化,肉眼是很難觀察的,因?yàn)楹偷谝淮蔚耐庥^是一樣的,只是因?yàn)橥扛驳谋∧け砻鏁衅鸱,所以隨著不斷的重復(fù)涂膜,薄膜整體的厚度均勻性會越來越差。但是很多時(shí)候這個(gè)變化也是肉眼難以觀察的。 建議你還是用臺階儀在涂覆的過程中不斷的測一下膜厚。也可以人為的制造一些斷層,通過顯微鏡觀察。 |
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