 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 3 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 518 | 回復(fù): 2 | ||
| 本帖產(chǎn)生 1 個 博學(xué)EPI ，點擊這里進(jìn)行查看 | ||
yangac_至尊木蟲 (著名寫手)
|
[求助]
濺射儀工作氣體氬氣+？？？氫化
|
|
| 我用濺射儀長Mn/SiC薄膜，工作氣體是氬氣，但是我想改變一下氣體對其薄膜的結(jié)構(gòu)，來氫化一下，看看是否起作用。看過文獻(xiàn)上有用Ar+H2，Ar+CH4的，但是，不是用的濺射儀，配比也不知道多少，混合氣體有什么要求嗎？但是安全第一，這種混合氣體不會爆炸吧？有人做過嗎？感謝給點意見哦��！急急急…… |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
求調(diào)劑一志愿海大，0703化學(xué)學(xué)碩304分，有大創(chuàng)項目，四級已過
已經(jīng)有9人回復(fù)
-
289材料與化工（085600）B區(qū)求調(diào)劑
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
一志愿武理材料工程348求調(diào)劑
已經(jīng)有6人回復(fù)
-
08工科 320總分 求調(diào)劑
已經(jīng)有11人回復(fù)
-
一志愿華中農(nóng)業(yè)071010，總分320求調(diào)劑
已經(jīng)有6人回復(fù)
-
323求調(diào)劑
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
284求調(diào)劑
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
317求調(diào)劑
已經(jīng)有16人回復(fù)
-
287求調(diào)劑
已經(jīng)有9人回復(fù)
-
求調(diào)劑
已經(jīng)有6人回復(fù)
Ivan_ye
金蟲 (正式寫手)
- 博學(xué)EPI: 1
- 應(yīng)助: 14 (小學(xué)生)
- 金幣: 1164.4
- 散金: 66
- 紅花: 2
- 帖子: 798
- 在線: 50.7小時
- 蟲號: 978357
- 注冊: 2010-03-22
- 專業(yè): 聚合物共混與復(fù)合材料
【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★
yangac_: 金幣+6, 博學(xué)EPI+1, ★★★★★最佳答案 2012-11-04 20:21:19
yangac_: 金幣+6, 博學(xué)EPI+1, ★★★★★最佳答案 2012-11-04 20:21:19
| 氬氣和氫氣、甲烷單獨(dú)混合沒有問題，至于氫氣和甲烷的比例是用來控制薄膜中氫的含量的，跟是否會引起爆炸沒有關(guān)系。關(guān)鍵在于濺射之前的抽真空，一定要高真空度而且保證濺射儀的氣密性絕對好，整個真空體系中不能引入氧，學(xué)過化學(xué)的人應(yīng)該都知道高濃度的氬氣和甲烷在有氧氣存在的情況下會產(chǎn)生什么嚴(yán)重的后果。建議LZ不要隨便嘗試這種易燃易爆氣體的反應(yīng)濺射，我們以前用氧氣做反應(yīng)濺射都是戰(zhàn)戰(zhàn)兢兢，三思而后行。 |
2樓2012-11-04 15:52:59
yangac_
至尊木蟲 (著名寫手)
- 應(yīng)助: 7 (幼兒園)
- 金幣: 13266.7
- 散金: 814
- 紅花: 15
- 帖子: 1684
- 在線: 245.9小時
- 蟲號: 802766
- 注冊: 2009-07-03
- 專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
3樓2012-11-04 20:21:11
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 yangac_ 的主題更新
| 3 | 1/1 | 返回列表 |
