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yangac_至尊木蟲 (著名寫手)
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[求助]
濺射儀工作氣體氬氣+？？？氫化
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| 我用濺射儀長(zhǎng)Mn/SiC薄膜，工作氣體是氬氣，但是我想改變一下氣體對(duì)其薄膜的結(jié)構(gòu)，來氫化一下，看看是否起作用。看過文獻(xiàn)上有用Ar+H2，Ar+CH4的，但是，不是用的濺射儀，配比也不知道多少，混合氣體有什么要求嗎？但是安全第一，這種混合氣體不會(huì)爆炸吧？有人做過嗎？感謝給點(diǎn)意見哦�。〖奔奔薄� |
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yangac_
至尊木蟲 (著名寫手)
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3樓2012-11-04 20:21:11
Ivan_ye
金蟲 (正式寫手)
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【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★
yangac_: 金幣+6, 博學(xué)EPI+1, ★★★★★最佳答案 2012-11-04 20:21:19
yangac_: 金幣+6, 博學(xué)EPI+1, ★★★★★最佳答案 2012-11-04 20:21:19
| 氬氣和氫氣、甲烷單獨(dú)混合沒有問題，至于氫氣和甲烷的比例是用來控制薄膜中氫的含量的，跟是否會(huì)引起爆炸沒有關(guān)系。關(guān)鍵在于濺射之前的抽真空，一定要高真空度而且保證濺射儀的氣密性絕對(duì)好，整個(gè)真空體系中不能引入氧，學(xué)過化學(xué)的人應(yīng)該都知道高濃度的氬氣和甲烷在有氧氣存在的情況下會(huì)產(chǎn)生什么嚴(yán)重的后果。建議LZ不要隨便嘗試這種易燃易爆氣體的反應(yīng)濺射，我們以前用氧氣做反應(yīng)濺射都是戰(zhàn)戰(zhàn)兢兢，三思而后行。 |
2樓2012-11-04 15:52:59
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