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6sbiam至尊木蟲 (著名寫手)
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[求助]
3D輪廓圖上的金網(wǎng)格怎么看都象金格嵌入到石英板里面了,為什么?
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今天對(duì)石英板上刻印的微米級(jí)金網(wǎng)格進(jìn)行了3D輪廓測(cè)試,結(jié)果很奇怪,金格好像嵌入到石英板里面似的,高度線也出現(xiàn)了負(fù)的,怎么解釋? 謝謝! |
專家顧問 (著名寫手)
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至尊木蟲 (著名寫手)
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這個(gè)啊,一般是由于你的金網(wǎng)格在根部有footing造成的。就是你的金的剖面是個(gè)幾字型。 白光干涉測(cè)量高度是有角度限制的,也就是光打下來,再反射回去測(cè)量,如果光打到一個(gè)斜面上,斜面角度大到一定程度的時(shí)候,反射光就回不到光路里面了,或者返還的信息就不完全了。這個(gè)時(shí)候測(cè)量出來的數(shù)據(jù)就是假的。 你的金線條的剖面是幾字型,所以在根部存在這種出假數(shù)據(jù)的斜面。一般來說,你可以直接把這些假數(shù)據(jù)忽略掉,但是抱歉起見,可以用別的手段驗(yàn)證一下最終結(jié)果,比如臺(tái)階儀或者共聚焦。 |
至尊木蟲 (著名寫手)
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