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6sbiam至尊木蟲 (著名寫手)
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[求助]
3D輪廓圖上的金網(wǎng)格怎么看都象金格嵌入到石英板里面了，為什么？
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今天對(duì)石英板上刻印的微米級(jí)金網(wǎng)格進(jìn)行了3D輪廓測(cè)試，結(jié)果很奇怪，金格好像嵌入到石英板里面似的，高度線也出現(xiàn)了負(fù)的，怎么解釋？ 謝謝！ |
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【答案】應(yīng)助回帖
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yanhualover: 金幣+1, 謝謝專家指導(dǎo)，值得鼓勵(lì)。 2013-02-06 16:38:09
yanhualover: 金幣+1, 謝謝專家指導(dǎo)，值得鼓勵(lì)。 2013-02-06 16:38:09
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這個(gè)啊，一般是由于你的金網(wǎng)格在根部有footing造成的。就是你的金的剖面是個(gè)幾字型。 白光干涉測(cè)量高度是有角度限制的，也就是光打下來(lái)，再反射回去測(cè)量，如果光打到一個(gè)斜面上，斜面角度大到一定程度的時(shí)候，反射光就回不到光路里面了，或者返還的信息就不完全了。這個(gè)時(shí)候測(cè)量出來(lái)的數(shù)據(jù)就是假的。 你的金線條的剖面是幾字型，所以在根部存在這種出假數(shù)據(jù)的斜面。一般來(lái)說(shuō)，你可以直接把這些假數(shù)據(jù)忽略掉，但是抱歉起見，可以用別的手段驗(yàn)證一下最終結(jié)果，比如臺(tái)階儀或者共聚焦。 |
7樓2012-11-07 16:16:29
yswyx
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2樓2012-11-07 00:37:15
6sbiam
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3樓2012-11-07 05:54:17
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5樓2012-11-07 06:23:14
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