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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 光膠AZ50XT
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| 查看: 2486 | 回復: 16 | |||
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[求助]
光膠AZ50XT
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有沒人用過AZ50XT的光膠啊 為什么顯影要那么久 前烘115℃就會產生氣泡 應該哄多久啊 就指教 |
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 yswyx的關于光刻的各種回復 |
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剛剛又試了試 我把顯影劑改了 就好顯了 可是結構也很容易被洗掉 還是有氣泡（好像不是甩膠的問題） 
6樓2013-01-23 16:02:33
2樓2013-01-23 14:50:38
3樓2013-01-23 15:04:18
4樓2013-01-23 15:10:21
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