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光膠AZ50XT
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有沒人用過AZ50XT的光膠啊 為什么顯影要那么久 前烘115℃就會(huì)產(chǎn)生氣泡 應(yīng)該哄多久啊 就指教 |
yswyx的關(guān)于光刻的各種回復(fù) |

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我翻了一下以前的資料,以前曾經(jīng)把AZ他們家的網(wǎng)站都down了一遍。我錯(cuò)了,這個(gè)50XT是厚膠,不過50XT沒有在現(xiàn)在AZ的產(chǎn)品列表里面。 查了以前的資料,發(fā)現(xiàn)這個(gè)膠挺脆弱的,需要做階梯升溫的烘烤,說明這個(gè)膠比較容易產(chǎn)生應(yīng)力,烘不好會(huì)裂。這個(gè)膠對(duì)顯影的要求也高,400k的顯影液是必須的。 至于氣泡,和你片子的干凈程度,涂膠的方式,設(shè)備,都有關(guān)系。你的勻膠機(jī)是啥樣的?膠怎么滴到片子上的? 另外,翻了AZ的產(chǎn)品系列說明,50XT這個(gè)膠真心不好用,你做什么工藝非要用它? |

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