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小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 光膠AZ50XT
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| 查看: 2484 | 回復(fù): 16 | |||||
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[求助]
光膠AZ50XT
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有沒人用過AZ50XT的光膠啊 為什么顯影要那么久 前烘115℃就會產(chǎn)生氣泡 應(yīng)該哄多久啊 就指教 |
回復(fù)此樓» 收錄本帖的淘帖專輯推薦
 yswyx的關(guān)于光刻的各種回復(fù) |
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yswyx 
專家顧問 (著名寫手)
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機電器件與系統(tǒng)
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【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★
wxa616: 金幣+3, ★★★很有幫助 2013-01-23 18:09:34
wxa616: 金幣+3, ★★★很有幫助 2013-01-23 18:09:34
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我翻了一下以前的資料，以前曾經(jīng)把AZ他們家的網(wǎng)站都down了一遍。我錯了，這個50XT是厚膠，不過50XT沒有在現(xiàn)在AZ的產(chǎn)品列表里面。 查了以前的資料，發(fā)現(xiàn)這個膠挺脆弱的，需要做階梯升溫的烘烤，說明這個膠比較容易產(chǎn)生應(yīng)力，烘不好會裂。這個膠對顯影的要求也高，400k的顯影液是必須的。 至于氣泡，和你片子的干凈程度，涂膠的方式，設(shè)備，都有關(guān)系。你的勻膠機是啥樣的？膠怎么滴到片子上的？ 另外，翻了AZ的產(chǎn)品系列說明，50XT這個膠真心不好用，你做什么工藝非要用它？ |
9樓2013-01-23 17:45:37
2樓2013-01-23 14:50:38
3樓2013-01-23 15:04:18
4樓2013-01-23 15:10:21
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