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z416203567銅蟲 (初入文壇)
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[求助]
IBE刻蝕孔結(jié)構(gòu)不均勻問(wèn)題
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我在對(duì)105nm的鋁進(jìn)行IBE刻蝕的時(shí)候，出現(xiàn)了結(jié)構(gòu)刻蝕不均勻的情況（結(jié)構(gòu)中間處刻透，但周圍沒(méi)刻透），請(qǐng)問(wèn)這是什么原因？ 結(jié)構(gòu)為：400nm寬，1600nm長(zhǎng)的十字孔結(jié)構(gòu)。 |
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yswyx 
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9樓2013-01-28 00:20:05
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2樓2013-01-27 02:41:18
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4樓2013-01-27 16:44:29
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