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[求助]
濺射的靶材燒成這樣子，請(qǐng)各位幫我看看是什么原因
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我的靶材是NiMnGa合金，直流電源功率是100W，濺射氣壓0.5Pa。本來(lái)是打算濺射1h，結(jié)果才濺射了30min，機(jī)器就提示沒(méi)有等離子體了，無(wú)法完成程序。打開(kāi)腔室，取下靶材就發(fā)現(xiàn)變成燒成如圖的模樣了。另外我放了NaCl，硅片，玻璃，旋涂了PMMA的硅片，還有云母片這幾種襯底放在托盤(pán)上待沉積。 20130306_162704.jpg 20130306_162618.jpg |
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5樓2013-03-07 20:39:08
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22樓2013-07-05 11:42:04
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【答案】應(yīng)助回帖
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yao366: 金幣+50, ★★★很有幫助 2013-03-08 13:22:30
yao366: 金幣+50, ★★★很有幫助 2013-03-08 13:22:30
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你的東西掉在靶材上，為什么��？不大明白你的意思，你給的這些信息不是很全。沒(méi)辦法回答你。具體很多東西你可以自己分析的。 托盤(pán)熱那是因?yàn)槟愕臉悠芳軟](méi)有冷卻，跟靶材沒(méi)有任何關(guān)系。plasma本來(lái)就是有能量的，長(zhǎng)期轟擊一個(gè)地方必然導(dǎo)致那里發(fā)熱。 具體金幣 怎么給，萬(wàn)事不難，看你有沒(méi)有這個(gè)心了哦 |
10樓2013-03-08 11:10:09
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