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[求助]
濺射的靶材燒成這樣子，請各位幫我看看是什么原因
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我的靶材是NiMnGa合金，直流電源功率是100W，濺射氣壓0.5Pa。本來是打算濺射1h，結(jié)果才濺射了30min，機(jī)器就提示沒有等離子體了，無法完成程序。打開腔室，取下靶材就發(fā)現(xiàn)變成燒成如圖的模樣了。另外我放了NaCl，硅片，玻璃，旋涂了PMMA的硅片，還有云母片這幾種襯底放在托盤上待沉積。 20130306_162704.jpg 20130306_162618.jpg |
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