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1樓 2013-03-07 14:47:21

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lg2880

鐵桿木蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)

【鬼迷日眼】

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【答案】應(yīng)助回帖

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華麗的飄過(guò): 金幣+3, 3q 2013-03-09 02:51:51

外延：是指在單晶襯底上、按襯底晶向生長(zhǎng)單晶薄膜的工藝過(guò)程。
同質(zhì)外延：生長(zhǎng)外延層和襯底是同一種材料，這種工藝就是同質(zhì)外延；這類工藝簡(jiǎn)單，但成本較高。
異質(zhì)外延：外延生長(zhǎng)的薄膜材料和襯底材料不同，或者說(shuō)生長(zhǎng)化學(xué)組分、甚至是物理結(jié)構(gòu)和襯底完全不同的外延層，相應(yīng)的工藝就叫做異質(zhì)外延；這類工藝復(fù)雜、成本較低。

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寧可心在江湖言江湖，不可身在江湖怨江湖！

2樓2013-03-07 16:37:36

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dhc198611

木蟲(chóng) (小有名氣)

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引用回帖:

2樓: Originally posted by lg2880 at 2013-03-07 16:37:36
外延：是指在單晶襯底上、按襯底晶向生長(zhǎng)單晶薄膜的工藝過(guò)程。
同質(zhì)外延：生長(zhǎng)外延層和襯底是同一種材料，這種工藝就是同質(zhì)外延；這類工藝簡(jiǎn)單，但成本較高。
異質(zhì)外延：外延生長(zhǎng)的薄膜材料和襯底材料不同，或者說(shuō) ...

弱弱的問(wèn)一下，同質(zhì)外延工藝簡(jiǎn)單，為什么成本較高，而異質(zhì)外延工藝復(fù)雜，為什么其成本較低呢？初學(xué)材料生長(zhǎng)有些地方不太明白！

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科研無(wú)止境

3樓2013-03-07 19:05:03

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kitee41

禁蟲(chóng) (小有名氣)

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4樓2013-03-07 20:19:03

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milanvsmilan

新蟲(chóng) (初入文壇)

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★
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華麗的飄過(guò): 金幣+1, 3q 2013-03-09 02:52:20

一般來(lái)說(shuō)，外延基本是同質(zhì)外延

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5樓2013-03-07 23:06:18

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匿名

用戶注銷 (職業(yè)作家)

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華麗的飄過(guò): 金幣+1, 3q 2013-03-09 02:52:27

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6樓2013-03-08 08:45:26

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華麗的飄過(guò): 金幣+4, 3q 2013-03-09 02:52:47

一般能同質(zhì)外延的都盡量同質(zhì)外延了。
異質(zhì)外延一般是找不到同質(zhì)襯底，或同質(zhì)襯底的導(dǎo)電、導(dǎo)熱等特性不滿足器件的要求等。異質(zhì)外延容易產(chǎn)生位錯(cuò)等缺陷，這一般通過(guò)在異質(zhì)襯底和外延膜之間引入緩沖層、中間層等技術(shù)來(lái)解決。

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自由水世界

7樓2013-03-08 09:04:58

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kitee41

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