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mlzwm木蟲 (小有名氣)
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求助：區(qū)熔法生長(zhǎng)單晶硅
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| 在區(qū)熔發(fā)生在單晶硅的過程中，需經(jīng)過預(yù)熱流程，想問下預(yù)熱后硅的溫度大概問多少？請(qǐng)大俠們指教 |
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【答案】應(yīng)助回帖
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mlzwm: 金幣+10, ★★★很有幫助 2013-04-22 09:00:41
mlzwm: 金幣+10, ★★★很有幫助 2013-04-22 09:00:41
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拉單晶的原料雖然也叫多晶硅，但其實(shí)是微晶硅，基本上可以看做是絕緣體，必須要加熱到導(dǎo)電狀態(tài)電磁加熱才能發(fā)揮作用，就像接力一樣。其實(shí)在余熱的時(shí)候，高頻線圈也在發(fā)揮作用，實(shí)際的情況是預(yù)熱叉里的石墨被高頻線圈加熱來“烘烤”多晶棒，多晶硅棒“變紅”的一瞬間馬上拿開預(yù)熱叉，不然就污染了（碳和氧會(huì)從預(yù)熱叉擴(kuò)散進(jìn)入熔體）。后面就靠線圈進(jìn)行加熱了。“變紅”這個(gè)狀態(tài)的溫度和熔點(diǎn)基本上是同一溫度了。 |
4樓2013-04-21 20:14:04
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在CECT第四十五所看到過德國(guó)ALD區(qū)熔爐！~~~ 10樓2013-07-02 08:21:28
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