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mlzwm木蟲 (小有名氣)
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[求助]
求助:區(qū)熔法生長(zhǎng)單晶硅
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| 在區(qū)熔發(fā)生在單晶硅的過(guò)程中,需經(jīng)過(guò)預(yù)熱流程,想問(wèn)下預(yù)熱后硅的溫度大概問(wèn)多少?請(qǐng)大俠們指教 |
鐵桿木蟲 (正式寫手)
硅材料研發(fā)人員
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拉單晶的原料雖然也叫多晶硅,但其實(shí)是微晶硅,基本上可以看做是絕緣體,必須要加熱到導(dǎo)電狀態(tài)電磁加熱才能發(fā)揮作用,就像接力一樣。其實(shí)在余熱的時(shí)候,高頻線圈也在發(fā)揮作用,實(shí)際的情況是預(yù)熱叉里的石墨被高頻線圈加熱來(lái)“烘烤”多晶棒,多晶硅棒“變紅”的一瞬間馬上拿開(kāi)預(yù)熱叉,不然就污染了(碳和氧會(huì)從預(yù)熱叉擴(kuò)散進(jìn)入熔體)。后面就靠線圈進(jìn)行加熱了!白兗t”這個(gè)狀態(tài)的溫度和熔點(diǎn)基本上是同一溫度了。 |

鐵桿木蟲 (正式寫手)
硅材料研發(fā)人員

木蟲 (小有名氣)
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