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木蟲 (小有名氣)

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[求助] 求助：Pt薄膜電導率

小弟要做一個微通道芯片的實驗。硅片的背面濺射一層100nm - 300nm厚度的Pt薄膜，作為電加熱。
現(xiàn)在的直流加熱器件是110V 3A，需要設計這個 $\pi$ 型薄膜的尺寸，使薄膜達到一定的電阻值，進而滿足總的設計功率。

請問這個薄膜的尺寸怎么算，我查了一點論文，薄膜的電阻貌似不能按一般的體電阻來算。

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1樓 2013-04-21 15:04:19

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智能機器人

Robot (super robot)

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