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[求助]
關(guān)于粉末靶的使用問題
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請教一下各位大神 在做磁控濺射的時候 因為我們的靶材用的是鈮酸鋰的粉末陶瓷靶 沒有加背套 所以擔(dān)心它受熱會裂開 之前因為不了解已經(jīng)把一個氮化鋁的陶瓷靶弄裂開了 所以想請問一下各位大神 在使用粉末陶瓷靶的時候應(yīng)該怎么用~應(yīng)該注意哪些事項~ 是否在濺射的過程中要不時將功率調(diào)下來讓其有充足的時間冷卻？ |
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