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愛問愛問123木蟲 (小有名氣)
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[求助]
關(guān)于真空度的問題
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| 濺射時先抽到了預(yù)定的真空度，通入氬氣清洗靶材時真空度就升高,分子泵過載,以前沒有這現(xiàn)象,這幾天出現(xiàn)了,怎么辦？ |
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lelelbom
鐵桿木蟲 (著名寫手)
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【答案】應(yīng)助回帖
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| 我覺得應(yīng)該是這樣的，但為什么你以前沒有這個現(xiàn)象，一種可能氬氣通入速度過快，分子泵電流和氣體質(zhì)量有關(guān)，真空高，流速快，實際抽氣量下降，真空低，抽氣慢，實際抽氣量（質(zhì)量）多 |
2樓2013-05-02 16:32:20
愛問愛問123
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4樓2013-07-10 16:43:44
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