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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 化學化工區(qū) » 工藝技術 » 膜技術 » 關于真空度的問題
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愛問愛問123木蟲 (小有名氣)
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[求助]
關于真空度的問題
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| 濺射時先抽到了預定的真空度，通入氬氣清洗靶材時真空度就升高,分子泵過載,以前沒有這現(xiàn)象,這幾天出現(xiàn)了,怎么辦？ |
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lelelbom
鐵桿木蟲 (著名寫手)
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愛問愛問123
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3樓2013-05-09 17:51:42
4樓2013-07-10 16:43:44
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