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chicktj新蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
直流磁控濺射AZO薄膜為什么方阻總是很大？
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| 我使用直流磁控濺射AZO陶瓷靶做的AZO薄膜，薄膜厚度三四百納米，用四探針儀測(cè)方塊電阻，總是幾千K歐姆，要不然就干脆根本大到測(cè)不出電阻，偶爾碰巧能做到幾百歐姆，但是重復(fù)條件又不行，非常的困惑，靶材是北京蒙泰的AZO陶瓷靶，詢問(wèn)他們他們也說(shuō)不太可能，請(qǐng)高手指點(diǎn)，拜謝啊。。。 |
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chicktj
新蟲(chóng) (初入文壇)
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3樓2013-05-10 13:29:05
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【答案】應(yīng)助回帖
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chicktj: 金幣+5, ★★★很有幫助 2013-05-10 13:28:29
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chicktj: 金幣+5, ★★★很有幫助 2013-05-13 10:48:25
| 可以看看載流子濃度和霍爾遷移率，載流子濃度小可能是濺射氣氛里有O2，這樣薄膜會(huì)偏黃色（也可以從紅外波段的吸收光譜看的出載流子濃度高低）；遷移率低的話可能是因?yàn)楸∧そY(jié)晶性不好（這個(gè)打XRD可以看出），這兩方面都解決了就可以看是不是靶材的問(wèn)題。 |
2樓2013-05-09 10:30:21
codesertea
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4樓2013-05-10 15:11:49
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5樓2013-05-10 18:03:36
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