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chicktj新蟲 (初入文壇)
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[求助]
直流磁控濺射AZO薄膜為什么方阻總是很大？
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| 我使用直流磁控濺射AZO陶瓷靶做的AZO薄膜，薄膜厚度三四百納米，用四探針儀測方塊電阻，總是幾千K歐姆，要不然就干脆根本大到測不出電阻，偶爾碰巧能做到幾百歐姆，但是重復(fù)條件又不行，非常的困惑，靶材是北京蒙泰的AZO陶瓷靶，詢問他們他們也說不太可能，請高手指點，拜謝啊。。。 |
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2樓2013-05-09 10:30:21
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5樓2013-05-10 18:03:36
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3樓2013-05-10 13:29:05
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4樓2013-05-10 15:11:49
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6樓2013-05-13 10:48:57
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| 首先，我之前做的直流磁控濺射做出來的薄膜質(zhì)量也會比射頻濺射的差很多，我不清楚這是我們設(shè)備的問題還是其他，不過理論上貌似射頻做的會好一些。其次，樓主做的溫度是多少的，如果是室溫的話，這種情況還是有可能的，在一定的范圍內(nèi)，溫度越高電學(xué)性能越好，而且透過率也會好些。第三，樓主膜厚也不算是太薄也不算是太厚，膜很薄的情況下電學(xué)性能惡化比較快。我認為可能還是樓主在濺射過程中的濺射工藝有不足的地方，目前做靶的應(yīng)該做的還可以。另外，做個廣告，我們組做AZO，從原料到靶材到薄膜一條龍。靶材是高性能靶材，經(jīng)過專家認定的，如果想要的話可以聯(lián)系。 |
7樓2013-05-13 11:13:03
zhenwuhuang
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| 直流磁控濺射制備大面積AZO透明導(dǎo)電薄膜。http://www.docin.com/p-162668031.html |
8樓2013-05-13 11:31:44
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9樓2013-05-29 16:35:26
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10樓2013-06-12 18:33:24
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