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chicktj新蟲 (初入文壇)
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[求助]
直流磁控濺射AZO薄膜為什么方阻總是很大？
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| 我使用直流磁控濺射AZO陶瓷靶做的AZO薄膜，薄膜厚度三四百納米，用四探針儀測方塊電阻，總是幾千K歐姆，要不然就干脆根本大到測不出電阻，偶爾碰巧能做到幾百歐姆，但是重復條件又不行，非常的困惑，靶材是北京蒙泰的AZO陶瓷靶，詢問他們他們也說不太可能，請高手指點，拜謝啊。。。 |
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4樓2013-05-10 15:11:49
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