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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 掩膜板精度固定方法
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| 本帖產(chǎn)生 1 個 MN-EPI ，點擊這里進行查看 | ||||
[求助]
掩膜板精度固定方法
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大神們 我想把掩膜板貼到coms圖像傳感器上面（掩膜板的“點”與CMOS傳感器的像素點一一對應起來），求好的方法？ 謝謝 |
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yswyx 
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【答案】應助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感謝參與，應助指數(shù) +1
hufei_012: 金幣+5, ★★★★★最佳答案 2013-05-09 10:13:30
kunpeng1782: 金幣+3, MN-EPI+1, 專家考核, 謝謝您的解答 2013-05-09 19:17:02
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幾乎不可能。 image sensor上是有color filter和micro lens的，是不能破壞和觸碰的，如果掩模版上的點想和它對應，垂直方向上會有至少10～20um的距離。我猜你是想做自己的color filter，那么這個10～20um的距離，非常致命，你的濾光效率極差。 對準本身，也存在極大的困難。CIS的像素尺寸一般到1個多um了，而現(xiàn)有對準鍵合方法，也是這個精度水平。所以只能是碰運氣了。 這里面有幾個前提條件： 1. CIS的像素很大 2. CIS是黑白的，而且沒有micro lens 3. 極其潔凈的環(huán)境，保證粘貼過程中不被沾污。 你要做的東西，要花不少錢。老外做四色filter的CIS，都是在產(chǎn)線上做的。 |
2樓2013-05-08 18:05:36
3樓2013-05-09 09:24:03
yswyx
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4樓2013-05-09 15:12:18
5樓2013-05-09 20:39:59
yswyx
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6樓2013-05-10 01:09:20
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