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道遠58

新蟲 (正式寫手)

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[求助] 關于薄膜電學性能測試的問題

投了一篇SCI 內容是關于AlN薄膜的在電學性能討論里面討論了電阻率與介電常數(shù)隨工藝參數(shù)變化的規(guī)律現(xiàn)在審稿人要求討論下漏電流、擊穿場強、電容以及缺陷密度隨工藝參數(shù)變化的規(guī)律請問這四個參數(shù)分別用什么設備去測啊本人研二做的又主要是結構方面的東西電學性能方面懂得很少還請多指教啊急急急！

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1樓 2013-05-28 10:03:29

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aldrichers

金蟲 (正式寫手)

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【答案】應助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感謝參與，應助指數(shù) +1
道遠58: 金幣+5 2013-09-22 10:16:41

循環(huán)伏安，交流阻抗等都可以

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夢想就是一種讓你感到堅持就是幸福的東西

2樓2013-05-31 07:22:44