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cylan木蟲 (正式寫手)
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[求助]
最近用SiO2做絕緣層制作晶體管，但是老是漏電，有沒有辦法避免。 已有1人參與
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最近用SiO2做絕緣層制作晶體管，但是老是漏電，有沒有辦法避免。 我用的SiO2/Si，SiO2層有300nm厚�；旧厦看螠y(cè)試都漏電。漏電如圖所示。 我是先將半導(dǎo)體層轉(zhuǎn)移到上面的，然后在半導(dǎo)體層上蒸鍍了Al作為電極，SiO2下面的Si作為柵極。 探針臺(tái)的探針有沒有可能把SiO2層給扎破？ 有哪位大俠給出個(gè)主意，怎么解決漏電問題。 SiO2_Leakage.jpg |
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zxk1204
新蟲 (初入文壇)
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體晶體與薄膜材料
3樓2016-01-09 23:40:15
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2樓2014-12-07 09:10:07
cylan
木蟲 (正式寫手)
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- 專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
4樓2016-01-11 00:00:02
苦范兒
木蟲 (著名寫手)
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體電子器件
5樓2020-12-14 08:49:05
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