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cylan木蟲 (正式寫手)
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[求助]
最近用SiO2做絕緣層制作晶體管，但是老是漏電，有沒有辦法避免。 已有1人參與
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最近用SiO2做絕緣層制作晶體管，但是老是漏電，有沒有辦法避免。 我用的SiO2/Si，SiO2層有300nm厚。基本上每次測試都漏電。漏電如圖所示。 我是先將半導(dǎo)體層轉(zhuǎn)移到上面的，然后在半導(dǎo)體層上蒸鍍了Al作為電極，SiO2下面的Si作為柵極。 探針臺的探針有沒有可能把SiO2層給扎破？ 有哪位大俠給出個主意，怎么解決漏電問題。 SiO2_Leakage.jpg |
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2樓2014-12-07 09:10:07
zxk1204
新蟲 (初入文壇)
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3樓2016-01-09 23:40:15
cylan
木蟲 (正式寫手)
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4樓2016-01-11 00:00:02
苦范兒
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5樓2020-12-14 08:49:05
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6樓2021-03-18 12:49:15
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7樓2021-03-18 12:49:31
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8樓2021-03-18 16:30:44
9樓2021-03-30 06:49:33
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