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cylan木蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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[求助]
最近用SiO2做絕緣層制作晶體管，但是老是漏電，有沒(méi)有辦法避免。 已有1人參與
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最近用SiO2做絕緣層制作晶體管，但是老是漏電，有沒(méi)有辦法避免。 我用的SiO2/Si，SiO2層有300nm厚�；旧厦看螠y(cè)試都漏電。漏電如圖所示。 我是先將半導(dǎo)體層轉(zhuǎn)移到上面的，然后在半導(dǎo)體層上蒸鍍了Al作為電極，SiO2下面的Si作為柵極。 探針臺(tái)的探針有沒(méi)有可能把SiO2層給扎破？ 有哪位大俠給出個(gè)主意，怎么解決漏電問(wèn)題。 SiO2_Leakage.jpg |
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9樓2021-03-30 06:49:33
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2樓2014-12-07 09:10:07
zxk1204
新蟲(chóng) (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
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- 蟲(chóng)號(hào): 2197950
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- 專(zhuān)業(yè): 半導(dǎo)體晶體與薄膜材料
3樓2016-01-09 23:40:15
cylan
木蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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- 專(zhuān)業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
4樓2016-01-11 00:00:02
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