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[交流] 關(guān)于光刻膠的一些問題

最近在弄光刻膠，遇到了一個(gè)棘手的問題，就是在等離子刻蝕后，光刻膠發(fā)生變性，不能被丙酮去掉。想問問大家有沒有遇到過這類的問題，是怎么解決的？
有用過光刻膠的朋友都說說自己用的膠的型號(hào)、用途吧，咱們可以交流一下，回頭可以寫一個(gè)總結(jié)類的帖子，造福大家~

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1樓 2013-05-31 08:35:11

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gzl9901

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2樓2013-05-31 09:02:29

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Bearsu

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因?yàn)榈入x子體里含紫外光，對(duì)光膠曝光了……

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5樓2013-06-01 04:42:47

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5樓: Originally posted by Bearsu at 2013-06-01 04:42:47
因?yàn)榈入x子體里含紫外光，對(duì)光膠曝光了……

哦？還是第一次聽說，如果這樣的話，
1、曝光了的話，也應(yīng)該可以用丙酮什么的去掉啊。
2、等離子體為什么會(huì)有紫外線，雖然看上去是紫色的……

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6樓2013-06-01 08:20:03

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6樓: Originally posted by hello_Jzz at 2013-06-01 08:20:03
哦？還是第一次聽說，如果這樣的話，
1、曝光了的話，也應(yīng)該可以用丙酮什么的去掉啊。
2、等離子體為什么會(huì)有紫外線，雖然看上去是紫色的……...

去掉是指develop還是remove？兩個(gè)概念完全不一樣的
我覺得大概是去掉，那如果可以用強(qiáng)酸唄，或者用擦鏡紙，沾點(diǎn)兒丙酮強(qiáng)行擦
我們這里的Plasma cleaner中看到紫色了，那產(chǎn)生的光子不是紫外波長還是紅外波長？我也不知道你用啥光膠，有的光膠在plasma中會(huì)被清掉的……我就遇到過T T

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7樓2013-06-01 11:21:15

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7樓: Originally posted by Bearsu at 2013-06-01 11:21:15
去掉是指develop還是remove？兩個(gè)概念完全不一樣的
我覺得大概是去掉，那如果可以用強(qiáng)酸唄，或者用擦鏡紙，沾點(diǎn)兒丙酮強(qiáng)行擦
我們這里的Plasma cleaner中看到紫色了，那產(chǎn)生的光子不是紫外波長還是紅外波長？我也 ...

哈哈，我現(xiàn)在是在remove，develop是顯影吧，那一步很簡單，因?yàn)闆]有什么特殊處理，就是曝光、顯影。但是我們還涉及到刻蝕，其實(shí)我特別想知道，等離子體和反應(yīng)離子有什么區(qū)別，因?yàn)槲覂蓚€(gè)儀器都用過，而且源都是Ar氣。

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8樓2013-06-01 14:19:27

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還是在等離子體刻蝕里，加入氧氣，它與光刻膠進(jìn)行反應(yīng)，即去除了；或直接用氬氣物理轟擊去除，但不好控制。光刻膠的種類就太多了，現(xiàn)在新膠越來越多，越來越細(xì)分，大家還是在圍繞自己的設(shè)備選擇合適的膠。

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9樓2013-06-20 11:38:42

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引用回帖:

8樓: Originally posted by hello_Jzz at 2013-06-01 14:19:27
哈哈，我現(xiàn)在是在remove，develop是顯影吧，那一步很簡單，因?yàn)闆]有什么特殊處理，就是曝光、顯影。但是我們還涉及到刻蝕，其實(shí)我特別想知道，等離子體和反應(yīng)離子有什么區(qū)別，因?yàn)槲覂蓚€(gè)儀器都用過，而且源都是Ar氣 ...

反應(yīng)離子刻蝕，用的就是等離子體。反應(yīng)可以是物理反應(yīng)（氬氣），也可以是化學(xué)反應(yīng)（氟基或氯基氣體，氧氣等）。

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10樓2013-06-20 11:42:50

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babyoflion

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等離子體刻蝕主要靠物理轟擊，就像水滴石穿一樣；反應(yīng)離子刻蝕就像名字一樣，靠化學(xué)反應(yīng)進(jìn)行刻蝕，物理轟擊作用很��！

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11樓2013-08-22 18:14:32

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回眸的舞者

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--曝光出問題了吧

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12樓2013-08-23 10:55:41

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perry_ping

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我們目前也發(fā)現(xiàn)經(jīng)等離子刻蝕后膠變性，直接用強(qiáng)酸去了，丙酮去不掉

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13樓2015-01-14 15:51:03

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簡單回復(fù)

tigerkf3樓

2013-05-31 09:09 回復(fù)

yingying15884樓

2013-05-31 22:57 回復(fù)

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