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小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控濺射鍍銀
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liaofang20銀蟲 (小有名氣)
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[交流]
磁控濺射鍍銀 已有9人參與
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各位大俠們，我采用磁控濺射鍍銀，銀靶上很多黑點(diǎn)，不知道造成銀靶黑點(diǎn)有哪些因素？鍍銀的前面鍍了3-4μm的鎳銅合金，銀鍍膜室腔體壁有很厚的涂層。 請多多指教！ 并且有個疑問請教各位大俠，Ar氣濺射銀靶的輝光是什么顏色的？我的鍍膜壓力是0.3-0.5Pa。 [ Last edited by liaofang20 on 2013-6-11 at 16:33 ] |
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4樓2013-06-05 17:40:54
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