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liaofang20銀蟲(chóng) (小有名氣)
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[交流]
磁控濺射鍍銀 已有9人參與
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各位大俠們，我采用磁控濺射鍍銀，銀靶上很多黑點(diǎn)，不知道造成銀靶黑點(diǎn)有哪些因素？鍍銀的前面鍍了3-4μm的鎳銅合金，銀鍍膜室腔體壁有很厚的涂層。 請(qǐng)多多指教！ 并且有個(gè)疑問(wèn)請(qǐng)教各位大俠，Ar氣濺射銀靶的輝光是什么顏色的？我的鍍膜壓力是0.3-0.5Pa。 [ Last edited by liaofang20 on 2013-6-11 at 16:33 ] |
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 薄膜制備與特性 |
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7樓2013-06-06 08:52:12
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黑點(diǎn)有可能是雜質(zhì)（可能是靶材自身或者外來(lái)的）。 但是也不排除氧的影響（最好有照片看看） 【還有磁石問(wèn)題，你的磁石是旋轉(zhuǎn)的嗎？】 對(duì)于銀這種材料，導(dǎo)電和導(dǎo)熱都極好的材料，DC濺射一般很少出問(wèn)題。 另外，妹子，你的DC電流有點(diǎn)大，小電流試試看（0.5A左右） 至于靶材，我的靶材都是在日本三菱那里買(mǎi)的，國(guó)內(nèi)的靶材應(yīng)該 沒(méi)什么問(wèn)題。 |
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10樓2013-06-06 10:58:08
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