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小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控濺射鍍銀
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liaofang20銀蟲 (小有名氣)
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[交流]
磁控濺射鍍銀 已有9人參與
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各位大俠們，我采用磁控濺射鍍銀，銀靶上很多黑點，不知道造成銀靶黑點有哪些因素？鍍銀的前面鍍了3-4μm的鎳銅合金，銀鍍膜室腔體壁有很厚的涂層。 請多多指教！ 并且有個疑問請教各位大俠，Ar氣濺射銀靶的輝光是什么顏色的？我的鍍膜壓力是0.3-0.5Pa。 [ Last edited by liaofang20 on 2013-6-11 at 16:33 ] |
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 薄膜制備與特性 |
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小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
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黑點有可能是雜質(zhì)（可能是靶材自身或者外來的）。 但是也不排除氧的影響（最好有照片看看） 【還有磁石問題，你的磁石是旋轉(zhuǎn)的嗎？】 對于銀這種材料，導(dǎo)電和導(dǎo)熱都極好的材料，DC濺射一般很少出問題。 另外，妹子，你的DC電流有點大，小電流試試看（0.5A左右） 至于靶材，我的靶材都是在日本三菱那里買的，國內(nèi)的靶材應(yīng)該 沒什么問題。 |
liaofang2010樓2013-06-06 10:58:08
conquertju
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4樓2013-06-05 17:40:54
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