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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控濺射Fe靶的濺射電壓范圍
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磁控濺射Fe靶的濺射電壓范圍 已有3人參與
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| 各位蟲友，我目前做的是Fe-si-Al吸波材料，采用的是磁控濺射的方法，但是問現(xiàn)在這方面的講述比較少，我采用的是Fe靶和Si-Al靶，想問一下Fe靶和Si-Al靶的濺射電壓和電流是多少？我目前在Fe靶和Si-Al靶上施加的電壓最多不超過400V，這時候的電流已經很大了，為2A左右，想繼續(xù)增大電壓機器就會響，所以400V以下的電壓能夠濺射出來東西嗎？請各位大神幫助，急用，不甚感激！ |
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甲子湖
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