risktaker111

金蟲 (正式寫手)

應(yīng)助: 0 (幼兒園)
金幣: 105.4
帖子: 303
在線: 196.9小時(shí)
蟲號(hào): 1290575

[交流] 磁控濺射雙靶與單靶在制備中的應(yīng)用

磁控濺射雙靶與單靶：
小弟最近要用磁控濺射設(shè)備制備薄膜，平時(shí)用的是單靶。但是，實(shí)驗(yàn)室其他人用的是雙靶。如果把雙靶換成單靶需要一定的時(shí)間，麻煩。
所以小弟想問一下，用雙靶代替單靶制備薄膜是否可以呢？當(dāng)然，薄膜會(huì)淀積成，但是有什么區(qū)別呢？

回復(fù)此樓

» 猜你喜歡

323求調(diào)劑已經(jīng)有6人回復(fù)
一志愿北京化工大學(xué) 070300 學(xué)碩 336分求調(diào)劑已經(jīng)有4人回復(fù)
352求調(diào)劑已經(jīng)有3人回復(fù)
一志愿東華大學(xué)化學(xué)070300，求調(diào)劑已經(jīng)有8人回復(fù)
277材料科學(xué)與工程080500求調(diào)劑已經(jīng)有7人回復(fù)
317求調(diào)劑已經(jīng)有18人回復(fù)
293求調(diào)劑已經(jīng)有5人回復(fù)
280分求調(diào)劑一志愿085802 已經(jīng)有7人回復(fù)
0854電子信息求調(diào)劑已經(jīng)有3人回復(fù)
263求調(diào)劑已經(jīng)有4人回復(fù)

» 本主題相關(guān)價(jià)值貼推薦，對(duì)您同樣有幫助:

[求助]磁控濺射設(shè)備中的強(qiáng)磁靶接射頻電源是否會(huì)對(duì)靶位造成損傷？已經(jīng)有9人回復(fù)
磁控濺射腔室內(nèi)的鋁靶變質(zhì)了急！急！急！已經(jīng)有6人回復(fù)
關(guān)于磁控濺射靶材的顆粒已經(jīng)有10人回復(fù)
有沒有人用磁控濺射做過alpha-Fe2O3，用的靶材是什么已經(jīng)有6人回復(fù)
射頻磁控濺射ZAO陶瓷靶時(shí)遇到的一些問題已經(jīng)有10人回復(fù)
求助：反應(yīng)磁控濺射制備氮化鉻薄膜，靶電源用DC還是RF好呢？已經(jīng)有9人回復(fù)
射頻磁控濺射鍍金屬靶材如何建立自偏壓？已經(jīng)有5人回復(fù)
磁控濺射法合成材料，其中粉末制靶需要冷壓，這個(gè)冷壓操作怎么具體操作？已經(jīng)有4人回復(fù)
【求助】射頻磁控濺射的靶材一般能用幾次？或者多久？已經(jīng)有9人回復(fù)
【求助】直流磁控濺射AlN薄膜的工藝條件，比如氮?dú)饬髁�、比例，鍍膜氣壓？？靶電壓�?/a> 已經(jīng)有6人回復(fù)

【求助】有買過Fe50Mn50磁控濺射靶的么？已經(jīng)有3人回復(fù)
【求助】磁控濺射靶材與襯底的距離已經(jīng)有20人回復(fù)

» 搶金幣啦！回帖就可以得到:

查看全部散金貼

1樓 2012-10-22 15:04:51

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

回帖支持 ( 顯示支持度最高的前 50 名 )

Ivan_ye

金蟲 (正式寫手)

應(yīng)助: 14 (小學(xué)生)
金幣: 1164.4
帖子: 798
在線: 50.7小時(shí)
蟲號(hào): 978357

★ ★ ★ ★
risktaker111(金幣+1): 謝謝參與
chemlh: 金幣+1, 歡迎積極交流 2012-10-24 08:22:30
risktaker111: 金幣+2, 謝謝 2012-10-24 16:24:05

LZ，我也做過磁控濺射，仍然真心不明白你要表達(dá)什么。我只能根據(jù)自己的揣測(cè)回答你的問題。
假設(shè)你用A靶和B靶依次進(jìn)行單靶濺射，則制得的材料構(gòu)型應(yīng)該是Substrate\A film\B film，其中A膜和B膜之間存在清晰的界面，也就是說基材上有兩層薄膜；如果是A靶和B靶進(jìn)行雙靶濺射，則基材表面僅生成一層薄膜，這層薄膜由A和B通過一定比率摻雜形成，材料構(gòu)型為Substrate\A-B film。

贊一下(2人)

回復(fù)此樓

4樓2012-10-22 16:20:41

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

linberg

木蟲 (正式寫手)

應(yīng)助: 5 (幼兒園)
金幣: 3184.9
帖子: 361
在線: 160.5小時(shí)
蟲號(hào): 1600178

★ ★ ★
risktaker111(金幣+1): 謝謝參與
risktaker111: 金幣+2, 謝謝 2012-10-24 16:24:17

引用回帖:

4樓: Originally posted by Ivan_ye at 2012-10-22 16:20:41
LZ，我也做過磁控濺射，仍然真心不明白你要表達(dá)什么。我只能根據(jù)自己的揣測(cè)回答你的問題。
假設(shè)你用A靶和B靶依次進(jìn)行單靶濺射，則制得的材料構(gòu)型應(yīng)該是Substrate\A film\B film，其中A膜和B膜之間存在清晰的界面， ...

應(yīng)該就是你說的這種情況。樓主的單靶估計(jì)是摻雜靶，就是A+B混合燒結(jié)的靶，雙靶就是A靶和B靶共濺射吧。根據(jù)我的理解，如果樓主想在很大范圍內(nèi)改變A/B比例的話，還是雙靶共濺射好，不用去做很多不同比例的單靶。但是如果B只是少量摻雜的話，單靶濺射的重復(fù)性等等要好一些。

贊一下(1人)

回復(fù)此樓

9樓2012-10-22 17:16:46

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

普通回帖

wu1008

金蟲 (著名寫手)

應(yīng)助: 243 (大學(xué)生)
金幣: 1486.4
帖子: 1788
在線: 197.6小時(shí)
蟲號(hào): 1859230

★
risktaker111(金幣+1): 謝謝參與

不明白你說啥

回復(fù)此樓

2樓2012-10-22 15:20:13

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

neu234

木蟲之王 (文學(xué)泰斗)

應(yīng)助: 33 (小學(xué)生)
金幣: 79027.5
帖子: 81171
在線: 1347.8小時(shí)
蟲號(hào): 591252

★
risktaker111(金幣+1): 謝謝參與

高深啊

回復(fù)此樓

3樓2012-10-22 15:59:32

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

wu1008

金蟲 (著名寫手)

應(yīng)助: 243 (大學(xué)生)
金幣: 1486.4
帖子: 1788
在線: 197.6小時(shí)
蟲號(hào): 1859230

引用回帖:

9樓: Originally posted by linberg at 2012-10-22 17:16:46
應(yīng)該就是你說的這種情況。樓主的單靶估計(jì)是摻雜靶，就是A+B混合燒結(jié)的靶，雙靶就是A靶和B靶共濺射吧。根據(jù)我的理解，如果樓主想在很大范圍內(nèi)改變A/B比例的話，還是雙靶共濺射好，不用去做很多不同比例的單靶。但是 ...

其實(shí)，共濺射的效果真心不怎么樣

贊一下

回復(fù)此樓

10樓2012-10-22 17:27:30

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

大水杯

木蟲 (著名寫手)

應(yīng)助: 6 (幼兒園)
金幣: 3889.1
帖子: 2898
在線: 864.9小時(shí)
蟲號(hào): 1501401

★
risktaker111(金幣+1): 謝謝參與

我也不太明白你說的單靶與雙靶是什么意思，是上面所說的做摻雜嗎？

贊一下

回復(fù)此樓

11樓2012-10-22 18:57:06

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

dxf930

金蟲 (正式寫手)

應(yīng)助: 0 (幼兒園)
金幣: 4700.3
帖子: 361
在線: 383.7小時(shí)
蟲號(hào): 968672

★ ★ ★
risktaker111(金幣+1): 謝謝參與
risktaker111: 金幣+2, 謝謝 2012-10-24 16:24:40

1、單靶和雙把的電源不同，所以功率不一樣！工藝自己再摸索。
2、你單雙靶所需要的靶材尺寸也不同的。
3、關(guān)鍵還是和你的材料有關(guān)系。冒昧的問一下你想鍍什么？

贊一下

回復(fù)此樓

12樓2012-10-23 11:53:52

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

yshit

木蟲 (小有名氣)

應(yīng)助: 1 (幼兒園)
金幣: 1768.5
帖子: 163
在線: 198.1小時(shí)
蟲號(hào): 1645003

★
risktaker111(金幣+1): 謝謝參與

LZ說的單靶和雙靶的轉(zhuǎn)換麻煩，是指換轉(zhuǎn)盤吧。其實(shí)不用換成單靶，用雙靶中的一個(gè)靶也能鍍膜，就是濺射參數(shù)需要修改下，可能會(huì)耗靶材。

贊一下

回復(fù)此樓

14樓2012-10-23 23:17:05

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

xlblank

新蟲 (正式寫手)

應(yīng)助: 0 (幼兒園)
金幣: 457
帖子: 590
在線: 12.8小時(shí)
蟲號(hào): 2049234

★
risktaker111(金幣+1): 謝謝參與

xlblank回復(fù)

回復(fù)此樓

17樓2012-10-24 09:59:24

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

簡(jiǎn)單回復(fù)

葉小豬兒5樓

2012-10-22 16:43 回復(fù)

risktaker111(金幣+1): 謝謝參與

引用回帖:

3樓: Originally posted by neu234 at 2012-10-22 15:59:32 高深啊

296279137zlw6樓

2012-10-22 16:47 回復(fù)

risktaker111(金幣+1): 謝謝參與

blackdogzmz7樓

2012-10-22 16:59 回復(fù)

risktaker111(金幣+1): 謝謝參與

fangxin8樓

2012-10-22 17:01 回復(fù)

risktaker111(金幣+1): 謝謝參與

sciencemaji13樓

2012-10-23 13:57 回復(fù)

risktaker111(金幣+1): 謝謝參與

chemlh15樓

2012-10-24 08:22 回復(fù)

risktaker111(金幣+1): 謝謝參與

chemlh16樓

2012-10-24 08:24 回復(fù)

最具人氣熱帖推薦 [查看全部]	作者	回/看	最后發(fā)表

[考研] 一志愿上海交大生物與醫(yī)藥專碩324分，求調(diào)劑 +3	jiajunX 2026-03-22	3/150	2026-03-22 19:32 by brblmd
[考研] 070300化學(xué)求調(diào)劑 +3	苑豆豆 2026-03-20	3/150	2026-03-22 14:48 by ColorlessPI
[考研] 318求調(diào)劑 +4	plum李子 2026-03-21	7/350	2026-03-22 14:17 by ColorlessPI
[考研] 求調(diào)劑 +5	Zhangbod 2026-03-21	7/350	2026-03-22 13:13 by Zhangbod
[考研] 285求調(diào)劑 +6	ytter 2026-03-22	6/300	2026-03-22 12:09 by 星空星月
[考研] 一志愿深大，0703化學(xué)，總分302，求調(diào)劑 +4	七月-七七 2026-03-21	4/200	2026-03-21 18:20 by 學(xué)員8dgXkO
[考研] 0703化學(xué)297求調(diào)劑 +3	Daisy☆ 2026-03-20	3/150	2026-03-21 17:45 by ColorlessPI
[考研] 313求調(diào)劑 +4	肆叁貳壹22 2026-03-19	4/200	2026-03-21 17:33 by ColorlessPI
[考研] 一志愿重慶大學(xué)085700資源與環(huán)境總分308求調(diào)劑 +7	墨墨漠 2026-03-20	7/350	2026-03-21 16:36 by barlinike
[考研] 299求調(diào)劑 +4	某某某某位 2026-03-21	4/200	2026-03-21 16:30 by barlinike
[考研] 279求調(diào)劑 +5	紅衣隱官 2026-03-21	5/250	2026-03-21 14:59 by lature00
[考研] 求調(diào)劑 +3	白QF 2026-03-21	3/150	2026-03-21 13:12 by zhukairuo
[考研] 265求調(diào)劑 +3	Jack?k?y 2026-03-17	3/150	2026-03-21 03:17 by JourneyLucky
[考研] 化學(xué)求調(diào)劑 +4	臨澤境llllll 2026-03-17	5/250	2026-03-21 02:23 by JourneyLucky
[考研] 材料與化工 322求調(diào)劑 +4	然11 2026-03-19	4/200	2026-03-20 22:12 by luoyongfeng
[考研] 中南大學(xué)化學(xué)學(xué)碩337求調(diào)劑 +3	niko- 2026-03-19	6/300	2026-03-20 21:58 by luoyongfeng
[考研] 一志愿中國海洋大學(xué)，生物學(xué)，301分，求調(diào)劑 +5	1孫悟空 2026-03-17	6/300	2026-03-19 23:46 by zcl123
[考研] 一志愿福大288有機(jī)化學(xué)，求調(diào)劑 +3	小木蟲200408204 2026-03-18	3/150	2026-03-19 13:31 by houyaoxu
[考研] 本科鄭州大學(xué)物理學(xué)院，一志愿華科070200學(xué)碩，346求調(diào)劑 +4	我不是一根蔥 2026-03-18	4/200	2026-03-19 09:11 by 浮云166
[考研] 11408 一志愿西電，277分求調(diào)劑 +3	zhouzhen654 2026-03-16	3/150	2026-03-17 07:03 by laoshidan