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liuxiaoyucrd金蟲 (小有名氣)
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[求助]
磁控濺射腔室內(nèi)的鋁靶變質(zhì)了 急！急！急！
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磁控濺射鍍鋁，基底上的鋁膜不是正常的金屬鋁的顏色，靶材拿出來后變成下圖這樣，中間和邊緣部分發(fā)黑，濺射環(huán)內(nèi)像結(jié)晶狀的東西，不平整。濺射過程中沒有通氧氣，請問一下有經(jīng)驗(yàn)的童鞋，這個(gè)是怎么回事呢？ WT`T@NV5ZC@KY8@14`M_`PL.jpg |
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