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[求助]
求助關(guān)于磁控濺射清洗方面的問題~~~急急急 已有1人參與
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請(qǐng)問各位大蝦，在用磁控濺射儀器做實(shí)驗(yàn)時(shí)，在濺射前的基體清洗過程中需要將靶電源打開嗎？ 因?yàn)槲易鰧?shí)驗(yàn)的基體容易被氧化，需要再在濺射前長時(shí)間加上負(fù)偏壓將氧化層打掉，可是我在清洗過程中打開靶電流的話，最后的薄膜的sem顯示薄膜是兩層，因此考慮在清洗過程中不開靶電流，但是不知道不開把電源 只加偏壓和氣壓的情況下能不能達(dá)到清洗效果······· 謝謝啦·~~~ |
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8樓2012-05-24 20:11:27
9樓2012-05-24 20:34:29
| 頂 |
10樓2012-09-04 17:02:45
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